可變形反射鏡(Deformable_Mirror)是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中的核心部件之一，變形鏡擔(dān)負(fù)著校正由內(nèi)挺身、外因素引人的波前誤差的任務(wù)侯谁，并補(bǔ)償由光路中各種因素引起的成像質(zhì)量降低的問(wèn)題，即校正器章钾。按照驅(qū)動(dòng)方式的不同墙贱，可變形反射鏡分為：(1)壓電式反射鏡；(2)電磁式反射鏡贱傀；(3)電致伸縮式反射鏡惨撇；(4)液壓式反射鏡。微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)府寒，是20世紀(jì)80年代迅速發(fā)展起來(lái)的一門(mén)綜合性新興學(xué)科魁衙。微電子機(jī)械系統(tǒng)包括微能源、微驅(qū)動(dòng)器株搔、微傳感器剖淀、微控制器和微操作器等，集成于一個(gè)微小的空間纤房，實(shí)現(xiàn)一種或多種設(shè)定的功能纵隔。MEMS變形鏡技術(shù)代表著Z為先進(jìn)的制造技術(shù)，利用MEMS技術(shù)制造的可變形反射鏡炮姨，是可變形反射鏡的發(fā)展支撐捌刮。
可變形反射鏡不僅可作為自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的核心部件，在天文望遠(yuǎn)鏡以及詳查相機(jī)上得到了應(yīng)用剑令，近幾年來(lái)還成功地在光束凈化糊啡、光束整形拄查、激光腔內(nèi)像差校正以及醫(yī)學(xué)人眼像差的檢測(cè)與校正等多方面都得到了應(yīng)用吁津。
