【SID4-UV波前分析儀簡介】
隨著光波波前探測技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應運而生允乐。從測量原理上可以分成兩類：一類是根據(jù)幾何光學原理矮嫉，測定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器牍疏，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等蠢笋；另一類是基于干涉測量原理，探測波前不同部分的干涉性鳞陨，來獲取波前信息昨寞，主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標準鏡;它們結(jié)構(gòu)簡單厦滤，抗干擾能力強援岩，條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測量光學元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法掏导。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器享怀，SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學測量，包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征趟咆，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測添瓷。
【關(guān)于Phasics】
Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國公司梅屉。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經(jīng)驗與獨特的波前測量技術(shù)為客戶提供全面的高性能波前傳感器。
一鳞贷、 SID4-UV波前分析儀/波前傳感器主要特點
250 x 250超高相位取樣分辨率
2 nm RMS高相位靈敏度
紫外波段波前測量的通用解決方案
非準直光入射 消色差
二坯汤、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產(chǎn)品應用
波前像差測量
基于四波剪切技術(shù)，Phasics 的波前傳感器同時提供具有無與倫比的高分辨率的相位和強度測量搀愧。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合玫霎，可提供完整的激光診斷：波前像差、強度分布妈橄、激光光束質(zhì)量參數(shù)（M2、束腰尺寸和位置等）翁脆。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學裝置的任何一點眷蚓，無論光束是準直的還是發(fā)散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器反番，SID4-UV非常適合于紫外光學測量沙热，包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測罢缸。
MTF測量
SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統(tǒng)進行像質(zhì)評價篙贸，只需一次直接拍攝，就可以通過軟件后處理測量參數(shù)(PSF, MTF, Zernike系數(shù))枫疆。如果不能自行搭建光路系統(tǒng)爵川，也可以進一步了解Kaleo Kit 套裝等產(chǎn)品測量MTF等產(chǎn)品。
三息楔、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應用領(lǐng)域
紫外光學測量| 光刻或半導體應用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測| 自適應光學| 等離子體密度
四寝贡、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格
波長范圍 | 250-400nm |
| 靶面尺寸 | 7.4 x 7.4 mm2 |
| 空間分辨率 | 29.6 μm |
| 取樣分辨率 | 250 x 250 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 絕對精度 | 10 nm RMS |
| 采集速率 | 30 fps |
| 實時處理速度 | > 2 fps (全分辨率下) |
五、與夏克-哈特曼波前傳感器對比
六值依、相關(guān)波前傳感器
產(chǎn)品標簽：紫外波段,波前傳感器,波前分析儀,Phasics,SID4-UV,MTF,干涉儀,激光干涉儀,球面干涉儀,激光平面干涉儀,干涉光刻,傳函儀,白光干涉儀,ZYGO,邁克爾遜干涉儀,便攜式干涉儀
