上海昊量推出的物鏡掃描臺采用壓電陶瓷直推朱灿，以柔性鉸鏈為導向使物鏡掃描臺具有結(jié)構(gòu)緊湊昧识、體積小钠四、無機械摩擦盗扒、定位分辨率高等優(yōu)點跪楞，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器侣灶，物鏡掃描臺硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪甸祭。物鏡掃描臺的精度可以達到亞納米，底噪低至10pm褥影。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電平移臺旨在滿足超精密定位應用的需求池户。該平移臺采用壓電陶瓷驅(qū)動，以柔性鉸鏈為導向使其結(jié)構(gòu)緊湊凡怎、擁有小的體積校焦、無摩擦、無間隙统倒、定位分辨率高等優(yōu)點寨典。采用硅高精度位移傳感器，與電容位移傳感器相比擁有更高的精度房匆、線性度和低底噪耸成。由于其具有較高的精度、線性度和較低的底噪等優(yōu)點浴鸿，被廣泛的應用于超分辨率顯微鏡井氢，光學捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。
AU-FOCHS采用管狀設(shè)計岳链，專門用于顯微鏡物鏡快速高精度定位花竞。該物鏡掃描臺可提供行程可達到100μm，精度可達到0.1 nm宠页，諧振頻率可達到1175Hz左胞。它由鋁、鋼和黃銅構(gòu)成举户，配備硅傳感器烤宙，可提供皮米級的穩(wěn)定性。以上優(yōu)點使其擁有廣泛的應用俭嘁，例如躺枕，激光加工、顯微成像供填、體容積成像拐云，等還可以與相機系統(tǒng)結(jié)合使用實現(xiàn)自動對焦。
AU-FOC是一款專門用于顯微鏡物鏡準確定位的設(shè)備近她。該物鏡掃描臺可提供100/200/300/500μm不同行程叉瘩。該物鏡掃描臺由鋁和黃銅構(gòu)成，結(jié)合硅傳感器可提供皮米量級的穩(wěn)定性粘捎。
以上兩款物鏡掃描臺的黃銅安裝環(huán)可以輕松更換薇缅，因此幾乎所有的物鏡都可以與這兩款物鏡掃描臺結(jié)合使用危彩。可用的物鏡大小有RMS, M25, M26, M27 和 M32.
顯微鏡物鏡掃描臺產(chǎn)品特點：
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度泳桦，諧振頻率可達1175Hz
l 采用硅傳感技術(shù)
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導向
顯微鏡物鏡掃描臺主要應用：
l 自動聚焦系統(tǒng)
l 共焦顯微鏡
l 3D成像
l 超分辨顯微鏡
l 半導體計量學
顯微鏡物鏡掃描臺產(chǎn)品參數(shù)：
Unit | AU-FOC | AU-FOCHS | ||||
Range of motion | mm | 100 | 200 | 300 | 500 | 100 |
Resolution | nm | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 0.1 |
Typical noise floor | nm | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.05 | 0.01 |
Full range repeatability | nm | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 1.0 | 0.2 |
Linearization (typical) | 0.02% | |||||
Resonant frequency | Hz | 500 | 350 | 250 | 200 | 1175 |
Stiffness | N/mm | 0.6 | 0.4 | 0.3 | 0.25 | 3.5 |
Maximum load : | ||||||
horizontal use | Kg | 0.5 | ||||
vertical use | Kg | 0.5 | ||||
Sensor | Silicon HR sensor | |||||
Material | Al | |||||
Cable length | m | 2 | ||||
Controller | standard | High speed | ||||
新產(chǎn)品推薦
大行程高速物鏡掃描臺產(chǎn)品
ALIO Industries 蕞近發(fā)布了高精度聚焦平臺 AI-VC-600-Z-SCB汤徽，它在超分辨率顯微鏡、原子力顯微鏡灸撰、表面計量以及工業(yè)制造和檢測應用等應用中至關(guān)重要谒府。精密聚焦臺提供納米級分辨率和極快的毫秒范圍響應。
ALIO 的 AI-VC-600-Z-SCB 高精度聚焦臺在此類應用中使用時，可提供閉環(huán)精度和極快的響應，以實現(xiàn)亞原子分辨率黔衡，這在高分辨率顯微鏡中至關(guān)重要。結(jié)果是以更快的速度獲得更高質(zhì)量的圖像趋惨。AI-VC-600-Z-SCB在6 mm的行程和500g的有效載荷下，可以實現(xiàn)4G 100% S曲線峰值加速度（相當于2G梯形加速度）和300mm/sec惦蚊，5nm分辨率器虾，可以實現(xiàn)通過將速度能力降低到 30 毫米/秒來實現(xiàn) 1 納米分辨率。
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產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器莉掂、光學測量設(shè)備葛圃、精密光學元件等，涉及應用領(lǐng)域涵蓋了材料加工憎妙、光通訊库正、生物醫(yī)療、科學研究厘唾、國防及更細分的前沿市場如量子光學褥符、生物顯微、物聯(lián)傳感抚垃、精密加工喷楣、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝鹤树，培訓铣焊，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)罕伯，系統(tǒng)集成等優(yōu)質(zhì)服務(wù)曲伊。
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