本文介紹在位移臺(tái)技術(shù)文檔和使用中都會(huì)使用的術(shù)語碾盟，并解釋其含義。以便于讀者更好的理解相關(guān)文章對(duì)位移臺(tái)的表述技竟。
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位移臺(tái)術(shù)語
傳感器分辨率 Sensor resolution
術(shù)語傳感器分辨率表示位置傳感器可檢測(cè)的最小量。該值是位移臺(tái)分辨率的下限搓扯。
傳感器分辨率也稱為傳感器靈敏度检痰。
傳感器精度 Sensor accuracy
位置傳感器的精度表示相對(duì)于已校準(zhǔn)、可計(jì)量溯源的標(biāo)準(zhǔn)的絕對(duì)偏差锨推。傳感器精度不一定與傳感器分辨率有關(guān)铅歼。
傳感器不準(zhǔn)確主要是由傳感器標(biāo)尺的不完善和傳感器標(biāo)尺相對(duì)于運(yùn)動(dòng)軸的對(duì)準(zhǔn)誤差引起的。
傳感器精度誤差在很大程度上是重復(fù)性的换可，可以通過線性校準(zhǔn)查找表（LUT）進(jìn)行補(bǔ)償椎椰。
載物臺(tái)分辨率 Stage resolution
載物臺(tái)分辨率定義為壓電定位載物臺(tái)的最小受控機(jī)械位移。由于我們的壓電平臺(tái)在大多數(shù)情況下都使用超聲波壓電技術(shù)與專用驅(qū)動(dòng)器相結(jié)合沾鳄，因此術(shù)語分辨率始終是指平臺(tái)的閉環(huán)分辨率慨飘。因此，分辨率受傳感器分辨率译荞、機(jī)械影響（摩擦瓤的、可塑性、接觸點(diǎn)非線性...）和位置控制性能的影響磁椒。該值是載物臺(tái)重復(fù)性的下限。
載物臺(tái)分辨率的其他術(shù)語表達(dá)是最小步長minimal step size或最小增量運(yùn)動(dòng)minimal incremental motion (MIM)玫芦。
載物臺(tái)重復(fù)性 Stage repeatability
重復(fù)性定義為在相同條件下將載物臺(tái)重復(fù)命令到一個(gè)特定位置時(shí)所獲得的位置范圍浆熔。
單向可重復(fù)性（Unidirectional repeatability）：載物臺(tái)總是從同一個(gè)先前定義的點(diǎn)返回給定點(diǎn)的能力，。這個(gè)值特指許多次移動(dòng)到同一點(diǎn)的偏移量的標(biāo)準(zhǔn)差医增。
雙向可重復(fù)性（Bidirectional repeatability）：載物臺(tái)從前一個(gè)隨機(jī)點(diǎn)返回給定點(diǎn)的能力慎皱。這個(gè)值特指從隨機(jī)方向運(yùn)動(dòng)到同一點(diǎn)的許多次移動(dòng)的偏移量的標(biāo)準(zhǔn)差。
除非另有說明叶骨，否則網(wǎng)站上給出的值均表示雙向可重復(fù)性茫多。
載物臺(tái)精度 Stage accuracy
載物臺(tái)精度與傳感器精度直接相關(guān)。由于我們平臺(tái)的直接驅(qū)動(dòng)原理以及位置傳感器和安裝表面之間的微小距離產(chǎn)生微小誤差而帶來的忽刽。
準(zhǔn)確度與可重復(fù)性 Accuracy vs. repeatability
準(zhǔn)確度是載物臺(tái)與實(shí)際（真實(shí)）值的接近程度天揖。可重復(fù)性是衡量平臺(tái)多次定位到相同目標(biāo)值的能力跪帝。重要的是要了解準(zhǔn)確度和可重復(fù)性是定位系統(tǒng)的兩個(gè)不同屬性今膊。
在許多應(yīng)用中，運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的可重復(fù)性比精度更重要伞剑。系統(tǒng)誤差可以計(jì)算和補(bǔ)償斑唬，但重復(fù)性是所有補(bǔ)償后達(dá)到的極限。
準(zhǔn)確性也稱為真實(shí)性黎泣∷×酰可重復(fù)性的其他術(shù)語是再現(xiàn)性（reproducibility ）或最大精度（- slightly confusing - precision）。
旋轉(zhuǎn)臺(tái)的誤差運(yùn)動(dòng) Error motion of a rotation stage
根據(jù) ANSI/ASME B89.3.4 標(biāo)準(zhǔn)抒倚，旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸的誤差運(yùn)動(dòng)定義為完美工件表面相對(duì)于參考坐標(biāo)軸的位置變化褐着，作為旋轉(zhuǎn)角度的函數(shù)，工件中心線與旋轉(zhuǎn)軸重合衡便。
換言之献起，旋轉(zhuǎn)臺(tái)理想狀態(tài)具有一個(gè)自由度，即圍繞z軸旋轉(zhuǎn)镣陕。然而谴餐，由于不存在完美的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其余五個(gè)自由度中的任何運(yùn)動(dòng)都稱為旋轉(zhuǎn)軸誤差運(yùn)動(dòng)呆抑。根據(jù)誤差方向岂嗓，可以區(qū)分兩個(gè)徑向貢獻(xiàn)、一個(gè)軸向貢獻(xiàn)和兩個(gè)傾斜或擺動(dòng)貢獻(xiàn)鹊碍。此外厌殉，平臺(tái)的誤差運(yùn)動(dòng)可以分為同步和異步分量。平臺(tái)的誤差運(yùn)動(dòng)通常被錯(cuò)誤地稱為平臺(tái)偏斜（stage runout）侈咕。
線性載物臺(tái)的誤差運(yùn)動(dòng) Error motion of a linear stage
線性載物臺(tái)的誤差運(yùn)動(dòng)是不期望的運(yùn)動(dòng)公罕，作為載物臺(tái)位置的函數(shù)，在除運(yùn)動(dòng)方向之外的所有五個(gè)自由度上耀销。水平面的誤差運(yùn)動(dòng)稱為直線度誤差楼眷，垂直面的誤差稱為平面度誤差。不同正交方向上的角誤差運(yùn)動(dòng)分量稱為俯仰、滾動(dòng)和偏航罐柳。
線性載物臺(tái)誤差運(yùn)動(dòng)的另一個(gè)術(shù)語是載物臺(tái)移動(dòng)誤差（stage guiding error）或行程誤差（ travel error）掌腰。
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