想要確保位移臺的精準(zhǔn)可控银伟，進(jìn)而提高精確度，必須對位移臺的各方面誤差運(yùn)動進(jìn)行分析绘搞。本文描述傾斜彤避、軸向和徑向誤差運(yùn)動的概念，以期幫助理解位移臺的誤差分析事項(xiàng)夯辖。更具體的誤差分析琉预，請參考相關(guān)文章。
位移臺的傾斜拙毫、軸向和徑向誤差運(yùn)動
傾斜萍恕、軸向和徑向誤差運(yùn)動
測量設(shè)置：
當(dāng)載物臺旋轉(zhuǎn)時(shí)刽肠，它不會圍繞垂直 Z 軸完運(yùn)動扭屁，在其他 5 個自由度中存在額外的誤差運(yùn)動：
? 垂直方向運(yùn)動：軸向誤差運(yùn)動
? 在垂直于旋轉(zhuǎn)軸的平面上的運(yùn)動：徑向誤差運(yùn)動均牢】熬桑總是有 2 個線性分量 X 和 Y
? 軸圍繞 X 軸和 Y 軸的傾斜削葱。傾斜是通過用已知 Z 軸方向間距的分開的 2 個探頭進(jìn)行測量得到的測量量。根據(jù)兩個探頭之間的差異淳梦，我們計(jì)算傾斜角析砸。
總徑向誤差是徑向平移和軸傾斜的組合。我們測量轉(zhuǎn)子表面正上方的徑向誤差爆袍。平臺上越高的位置首繁，徑向誤差越大作郭，因?yàn)椤皟A斜”的貢獻(xiàn)不斷增加。兩個軸承之間的總徑向誤差最小蛮瞄，但該位置實(shí)際不可接近所坯。
下圖是通過對平臺位置每 X 度執(zhí)行一次測量，然后繪制線性或極坐標(biāo)圖而生成的挂捅。探針可以在 X 方向或 Y 方向上定向芹助，得到類似的結(jié)果。
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