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應(yīng)用中心 —— 光束勻化相關(guān)產(chǎn)品

對(duì)不同的激光的光束質(zhì)量(M2)吱涉,需要選擇不同的光束勻化解決方案。


一外里, 對(duì)于M^2>10的激光器怎爵。

1,微透鏡陣列:我們可以提供復(fù)眼透鏡(微透鏡陣列)來進(jìn)行勻化盅蝗。組成:?jiǎn)纹螂p片透鏡陣列鳖链。輸出光斑形狀:為長(zhǎng)/正方形或六邊形。

2风科,鼓型透鏡陣列 :鼓型透鏡常用于半導(dǎo)體光刻機(jī)撒轮,或LCD光刻機(jī),PCB光刻機(jī)中對(duì)光源進(jìn)行勻化贼穆,其由一片透鏡組成题山。 


二, 對(duì)于M^2< 10的激光器故痊,微透鏡陣列會(huì)產(chǎn)生很多干涉亮斑顶瞳,所以不是最理想的選擇。

1愕秫,高透過率diffuser:針對(duì)這類激光器慨菱,我們可以提供一種新型的PRIME beamshaper(單片鏡片)。PRIME的特點(diǎn)是戴甩,對(duì)光斑尺寸不敏感符喝,對(duì)光斑位置不敏感,對(duì)放置位置不敏感甜孤,從而使的調(diào)試變得非常簡(jiǎn)單协饲,同時(shí)也減輕了M^<10的激光器配合復(fù)眼透鏡使用時(shí)會(huì)出現(xiàn)的過多干涉亮斑。組成:?jiǎn)纹R片缴川。輸出光斑形狀:可以根據(jù)客戶的要求設(shè)計(jì)成各種形狀茉稠。

2,方形光纖:較傳統(tǒng)的圓形光纖把夸,方形/八邊形光纖具有更高的耦合效率而线,極低的焦比退化,和出色的擾模勻化效果。普通的高斯分布激光膀篮,通過此類光纖后嘹狞,可得到平頂光,光斑能量極為均勻誓竿。傳輸波長(zhǎng)范圍可覆蓋160nm~2500nm刁绒,多種芯徑和數(shù)值孔徑(NA)可選。


三烤黍, 對(duì)于M^2~1(接近高斯光束)的單模激光,

我們可以提供一種和光束整形透鏡傻盟,用來實(shí)現(xiàn)平頂分布速蕊。這種器件的相對(duì)于一般的光束整形元件而言,具有體積心锔啊(單片透鏡)规哲,成本低,方便安裝等優(yōu)勢(shì)诽表。組成:?jiǎn)纹R片唉锌。輸出光斑:可根據(jù)客戶選擇進(jìn)行設(shè)計(jì)。

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15W光纖耦合紫外UV-LED點(diǎn)光源(ALE/3 系列)
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圓)
50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圓)
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