Cinogy光束分析儀采用的“CinCam” CCD的探測(cè)范圍從可見光到近紅外光波段泵三。是用于連續(xù)激光和脈沖激光光斑探測(cè)的高性能工
具。對(duì)于光斑數(shù)據(jù)衔掸,可以提供一系列的分析處理方法烫幕。本文介紹光斑寬度二維分析方法。
明確激光光束參數(shù)是激光工藝的基礎(chǔ)和前提。具體的參數(shù)包括光斑坐標(biāo)振愿,大小捷犹,方位角,橢圓度冕末,光強(qiáng)等萍歉。
對(duì)于二維波束寬度的測(cè)量方法有以下幾類
1.統(tǒng)計(jì)學(xué)方法
統(tǒng)計(jì)學(xué)方法對(duì)于光斑的形態(tài)不進(jìn)行假定。具體方法有以下
幾種:
A. 對(duì)光斑數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)档桃∏购ⅲ可以以獲得整體的測(cè)試結(jié)果。比如光強(qiáng)胳蛮,最大光強(qiáng)销凑,最小光強(qiáng),點(diǎn)亮的像素?cái)?shù)量仅炊,等斗幼。其中強(qiáng)度參數(shù)可以由如下公式計(jì)算得出。
B. 二值化抚垄。根據(jù)ISO 13694蜕窿,該方法用于平頂激光束的表征。通過(guò)給定一個(gè)或多個(gè)給定閾值來(lái)計(jì)算數(shù)據(jù)
C.2nd moments呆馁。對(duì)于數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差進(jìn)行計(jì)算桐经。這是ISO 11146中給出的方法。改方法描述了質(zhì)心相關(guān)的強(qiáng)度分布的標(biāo)準(zhǔn)差浙滤。為了
減輕誤差的影響阴挣,可以在計(jì)算時(shí)忽略未被照亮的像素點(diǎn)。
2.擬合方法
擬合的方法很多纺腊,比如最小二乘法畔咧,高斯擬合茎芭,超級(jí)擬合等。最佳擬合參數(shù)需要與數(shù)據(jù)的噪聲高度獨(dú)立誓沸。
3.幾何方法
幾何方法沒(méi)有利用最佳擬合函數(shù)進(jìn)行強(qiáng)度分布梅桩。這些方法適合于橢圓但不僅限于橢圓。
幾何方法包括邊緣檢測(cè)拜隧,面積宿百,簡(jiǎn)單幾何圖形匹配等
4.經(jīng)典方法
這些方法模擬了經(jīng)典的測(cè)量與一個(gè)移動(dòng)的刀邊或一個(gè)移動(dòng)的狹縫。原則上洪添,與坐標(biāo)系相關(guān)的光束形狀是未知的垦页。比較經(jīng)典的比如刀口法,切片法干奢,突變法等外臂。
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