ALIO高精度六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod

ALIO六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod-高精度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺Hybrid Hexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法斤蔓，并以極具競爭力的價格展示了更高的性能。六軸位移臺Hybrid Hexapod結(jié)合了精密XY單片工作臺镀岛、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)的Theta- Z軸弦牡，而不是6個獨立的腿(和12個連接接頭)，提供卓越的整體性能漂羊。這使得傳統(tǒng)的六足位移臺運動學(xué)過時了驾锰，在精度、路徑性能走越、速度椭豫、剛度和更大的工作范圍上都有了數(shù)量級的改進，幾乎可以無限的XY行程旨指，完全可編程的工具中心點位置赏酥。

六軸位移臺Hybrid Hexapod具有小于100nm的三維6軸點精度重復(fù)性谆构，使其成為激光加工裸扶、光學(xué)檢測、光子學(xué)搬素、半導(dǎo)體呵晨、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。

傳統(tǒng)的六足位移臺無法達到亞微米的精度摸屠，因為它們需要精確協(xié)調(diào)所有六個軸的運動來完成一個運動輪廓，即使這個要求只是一個簡單的單軸運動猪杭。此外餐塘，盡管人們普遍認為六足位移臺比串行堆疊的多軸系統(tǒng)表現(xiàn)出良好的剛度，但這實際上只是在垂直的“Z”軸上皂吮，在“XY”平面上存在弱點戒傻。

特點

• 高精度交叉滾柱導(dǎo)軌

• 直接讀取增量或使用絕對編碼器控制所有承軸

• 線性壓電電機和/或滾珠絲桿驅(qū)動器

• 無限制編輯工具中心點位置和坐標(biāo)位移

• 所有承軸零間隙

主要參數(shù)

• XY軸行程60mm和100mm税手，蕞大450mm（無限制XY行程）

• Z軸行程62mm（其他同類產(chǎn)品蕞大208mm）

• Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續(xù)可調(diào) 360 Deg Theta-Z

• XYZ 雙向重復(fù)性小于 ±100nm

• 角度雙向重復(fù)性小于 ±0.6 arc-sec

• XY軸位移速度可達100mm/s，Z軸位移速度可達20mm/s Z (大于線性電機版)

• 線性不穩(wěn)定性小于20nm需纳，角不穩(wěn)定性小于0.1 arc-sec

  
  

應(yīng)用

• 非球面和自由光光學(xué)檢測

• 封裝與探測硅光子

• 激光微加工（非平面基板和錐度控制）

• 晶圓測量

• 相機模塊的對準(zhǔn)與裝配

• 傳感器/圖像穩(wěn)定性測試

• 光學(xué)元件的光纖耦合

迷你六軸位移臺MINI Hybrid Hexapod

    ● 行程 XY/Z/AB/G :   60/15/10/360

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   25 mm/s and 30 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重復(fù)定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 μm

迷你六軸位移MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭對準(zhǔn)/粘接到ccd陣列的理想選擇芦倒。它在構(gòu)建相機陣列模塊不翩、平移式OIS兵扬、用于手機相機和無人機等日常產(chǎn)品中的微型相機

的望遠鏡集成鏡頭方面都很有幫助。任何需要6度自由定位的納米/弧秒級增量運動和重復(fù)性的應(yīng)用都非常適合該產(chǎn)品口蝠，因為產(chǎn)品傳感器分辨率的提高推動了對更高精度的需求器钟。

無限XY行程大角度六軸位移臺Angulares Hybrid Hexapod

HYBRID HEXAPOD?采用直線電機驅(qū)動

    ● Max.行程 XY/Z/AB/G :  無限/206/40/360

     ●  Min.行程XY/Z/AB/G  :  60/6/5/360

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重復(fù)定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 μm

到目前為止妙蔗，大角度六軸位移臺Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范圍傲霸。它非常適合應(yīng)用于非球面和自由曲面光學(xué)計量，硅光子學(xué)封裝和探測眉反，激光微加工(非平面基片和錐度控制)昙啄，晶圓計量，相機模塊對準(zhǔn)和裝配寸五，傳感器/圖像穩(wěn)定測試，以及光學(xué)元件和光纖對準(zhǔn)梳杏。

大角度六軸位移臺具有精密交叉滾子軸承導(dǎo)軌韧拒，光學(xué)增量或絕對編碼器反饋在所有軸，直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動器秘狞，無限可編程的工具中心點位置和坐標(biāo)偏移叭莫，和零后座力。它能夠無限XY位移,Z軸位移在使用其它三腳架模式下62mm增加到208mm烁试，連續(xù)360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)雇初， XYZ雙向重復(fù)性小于+/- 0.6角秒，速度高達100mm/s  XY和Z减响，小于10nm的線性和0.1弧秒的小增量角運動靖诗。

真空六軸位移臺MINI Hybrid Hexapod

    ● 行程 XY/Z/AB/G :   100/24/12/360

    ● 蕞大線性速度和角速度 :    500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重復(fù)定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 μm

三腳架（三自由度）采用直線電機驅(qū)動

   ● Min.行程 XY/AB :  6mm / ±2 degrees

    ● Max.行程 XY/AB : 206mm / ±22 degrees

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重復(fù)定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 μm

三腳架+旋轉(zhuǎn)（四自由度）

采用直線電機驅(qū)動

    ● Min.行程 XY/AB/G :  6mm / ±2 degrees/無限

    ● Max.行程 XY/AB/G : 206mm / ±22 degrees/無限

    ● 蕞大線性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 線性分辨率 : < 5nm

    ●雙向重復(fù)定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 μm

ALIO’s Hybrid Hexapod? 為 6D Motion 提供了一種革命性的方法刊橘，與傳統(tǒng)的六足設(shè)計相比，精度高出一個數(shù)量級颂鸿，行程更長促绵，速度更快，剛度更大。

和市面上主要的同類產(chǎn)品相比败晴，ALIO’s Hybrid Hexapod?的優(yōu)勢顯而易見浓冒。下面的視頻也可以更加直觀的感受到運動控制的體驗：

同時幾種定制化配置可以滿足你更多的需求：