高分辨率測(cè)試靶 Test Chart
 | ◆ 負(fù)片圖案設(shè)計(jì) ◆ 基底為10x10mm2勾扭，設(shè)計(jì)緊湊，尺寸穩(wěn)定性良好 ◆ 采用高精度電子束光刻技術(shù)制作 ◆ 結(jié)構(gòu)尺寸低至100nm ◆ 分辨率可達(dá)到3300 lp/mm |
| 昊量光電推出的 Test chart 標(biāo)準(zhǔn)尺系列是由高精度的電子束光刻制作而成铁瞒，這些圖案蝕刻在具有廣譜透射(DUV-VIS-NIR)的妙色，基底為一個(gè)10×10 mm2石英襯底上。在襯底上施加了高光密度的鉻層慧耍，之后通過燒蝕鉻層身辨，使得結(jié)構(gòu)尺寸可以降低到100納米的同時(shí)保證了設(shè)計(jì)的精度芍碧，這種方式也保證了結(jié)構(gòu)邊緣的良好尺寸公差和直線度煌珊。其結(jié)構(gòu)為負(fù)片圖案，且每個(gè)靶上的負(fù)片圖案允許結(jié)構(gòu)透明泌豆，而背景被鉻層阻擋。同時(shí)為配各類顯微鏡物鏡使用踪危，有多種圖案可以選擇蔬浙，且所有圖案都可以有一個(gè)厚度0.17毫米的覆蓋玻璃的版本可用。 |
標(biāo)準(zhǔn)載玻片靶 TC-RT01 —— 7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um pinholes |
通過高分辨率的RT01贞远，可以非常輕松畴博、快速地在傳輸光下確定目標(biāo)的分辨率限制。水平和垂直對(duì)齊共有 59 條線型兴革，涵蓋了精度從每毫米 7.5條線對(duì) 到 3300 條線對(duì)。 同時(shí)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單排列和測(cè)試結(jié)構(gòu)尺寸的直接讀取確保了直觀的處理杂曲。此外庶艾，還有5個(gè)直徑在4.0-0.25 um之間的針孔，可以實(shí)現(xiàn)微成像光學(xué)元件的詳細(xì)表征 |  |
| 西門子星狀靶 TC-RT02 —— Resolution testchart with very high precision |
 | 該標(biāo)準(zhǔn)尺由 5 顆西門子星組成擎勘， 其特點(diǎn)是星中心的錐形部分制造的寬度低至為 150nm咱揍。該測(cè)試目標(biāo)板非常適合于確定具有非常高數(shù)值光圈的顯微鏡物鏡的分辨率 |
| 載玻片檢查板TC-CB50 —— CheckBoard of 50 x 50 um2 squares |
高分辨率顯微鏡檢查板的特點(diǎn)內(nèi)部每個(gè)正方形均為 50 x 50 平方微米，整體尺寸為 9.0 x 9.0 平方毫米煤裙。該靶片非常適合于測(cè)試圖像偏斜和曲率，以及確定由于直線和銳邊導(dǎo)致的圖像質(zhì)量噪漾。 |  |
| 熒光載玻片線對(duì)靶TC-RT03 ——fluorescent resolution test target up to 5000 lp/mm |
 | 利用這張熒光超高分辨率測(cè)試靶硼砰，可以確定全視野內(nèi)高端顯微鏡物鏡的分辨率和MTF。在水平和垂直排列中欣硼，間距降至200nm（每毫米5000對(duì)線對(duì)）的線圖案题翰，可以獲得可用的油浸目標(biāo)的分辨率限制。針孔排列在覆蓋10x豹障、20x冯事、40x、63x和100x物鏡視野的網(wǎng)格上血公。測(cè)試圖的結(jié)構(gòu)是在厚度為0.17mm+/-5μm的高精度覆蓋玻璃上制作的，粘在透明熒光底板上累魔。因此摔笤，測(cè)試載玻片可以用于熒光和亮場(chǎng)模式或激光掃描顯微鏡。這些結(jié)構(gòu)被實(shí)現(xiàn)為負(fù)的薛夜，即只有這些結(jié)構(gòu)是透明的籍茧，而背景被一個(gè)鉻層所阻擋版述。還有一個(gè)版本可用于不需要蓋波片的物鏡梯澜。 |
| 高分辨率顯微鏡靶通用規(guī)格 |
Pattern Tolerance: | 100nm/cm |
光密度 OD: | OD>8 @ 400nm, 6 @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm |
光譜范圍: | 200 - 2000nm |
基底: | Fused Silica w/Chrome deposit |
尺寸 (mm): | 10 x 10 x 1 |
構(gòu)造 : | Stainless Steel, 75 x 25 x 1.5mm, microscope slide format |
產(chǎn)品標(biāo)簽：高分辨率顯微鏡載玻片靶,高分辨率顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)尺,高分辨率顯微鏡載玻片卡尺,Edmund,顯微鏡載玻片靶,高分辨率測(cè)試靶,分辨率測(cè)試靶, 高精度分辨率測(cè)試卡,分辨率檢測(cè)卡,分辨率解析卡,線性分辨率測(cè)試卡,高精度測(cè)試卡,高精度測(cè)試靶,Argolignt,鑒別率板,顯微鏡測(cè)微尺,分辨率效驗(yàn)板,太赫茲分辨率版,太赫茲分辨率靶,分劃板
