Filmetrics F20單點(diǎn)薄膜透明膜半透明膜厚度測量儀膜厚儀
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Filmetrics F20 膜厚測量儀-我們能測量什么的畴?
薄膜特性:厚度渊抄、反射率、透射率丧裁、光學(xué)常數(shù)护桦、均勻性、刻蝕量等
薄膜種類:透明及半透明薄膜煎娇,常見如氧化物二庵、聚合物甚至空氣
薄膜狀態(tài):固態(tài)贪染、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測量
薄膜結(jié)構(gòu):單層膜、多層膜催享;平面杭隙、曲面
Filmetrics F20 膜厚測量儀-膜層范例
基本上光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜可以測量因妙。
這包括電介質(zhì)與半導(dǎo)體材料痰憎,例如:
SiNX | TiO2 | DLC |
光刻膠SU-8 | 聚合物 | 有機(jī)電致發(fā)光器AIQ材料 |
非晶硅 | ITO | 硒化銅銦鎵CIGS |
型號 | 厚度范圍* | 波長范圍 |
---|---|---|
F20 | 15nm - 70μm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm - 250μm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm - 250μm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm - 40μm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm - 250μm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2μm - 450μm | 1440-1690nm |
F3-sX 系列 | 10μm - 3mm | 960-1580nm |
*取決于薄膜種類
半導(dǎo)體膜層 | 液晶顯示器 |
光刻膠 | OLED |
加工膜層 | 玻璃厚度 |
介電層 | ITO和TCOs |
光學(xué)鍍層 | 生物醫(yī)學(xué) |
硬涂層 | 聚對二甲苯 |
抗反射層 | 醫(yī)療器械 |
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