膜厚測(cè)量原理（四）-膜厚測(cè)量的方法

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膜厚測(cè)量原理（四）-膜厚測(cè)量的方法

可變量的個(gè)數(shù)，光譜反射法的局限

光譜反射法可以測(cè)量多種類型薄膜的厚度力麸，粗糙度和光學(xué)常數(shù)可款。但是，如果只有不到一個(gè)周期的反射率振蕩（如：薄膜太笨寺臁）闺鲸，那么就不會(huì)產(chǎn)生足夠的信息來確定模型的可變量。這樣埃叭，對(duì)于非常薄的薄膜摸恍，可確定的薄膜特性的數(shù)量就會(huì)減少。如果試圖解決太多的變量，不可能找到唯①的解答立镶；這種情況下待求變量的多種組合都可能使得反射率計(jì)算值與測(cè)量值匹配壁袄。

取決于薄膜和測(cè)量的波長(zhǎng)范圍，光譜反射法測(cè)量的單層薄膜的較小厚度為1納米到30納米媚媒。如果還要測(cè)量光學(xué)常數(shù)嗜逻，除非使用較少變量模型，可測(cè)較小厚度增加為10納米到200納米缭召。如果測(cè)量超過一層的薄膜的光學(xué)特性栈顷，較小厚度將進(jìn)一步增加。

光譜反射法與橢圓偏光法

基于上面列出的限制條件嵌巷，光譜反射法能測(cè)量絕大部分的重要薄膜萄凤。但是，當(dāng)薄膜太薄晴竞，層數(shù)太多蛙卤，用光譜反射法測(cè)量太復(fù)雜時(shí)狠半，可以用一般情況下更有效的方法 -- 光譜橢圓偏光法噩死，來測(cè)量。

該方法是測(cè)量斜射光 （通常比垂直入射偏離750) 的反射光譜神年。橢圓偏光法對(duì)非常薄的薄膜更敏感已维，兩種不同的偏振測(cè)量提供雙倍信息用于分析。此外已日，橢圓偏光法可進(jìn)行多種不同入射角度的反射光譜測(cè)量垛耳，因而產(chǎn)生更多分析信息。

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