半導(dǎo)體/薄膜無損檢測儀

薄膜無損檢測系統(tǒng)猬错，半導(dǎo)體無損檢測系統(tǒng)

l  產(chǎn)品特點(diǎn)

系統(tǒng)使用獲得zuanli的光聲技術(shù)設(shè)計(jì)無損測量系統(tǒng)。

源自 CNRS 和波爾多大學(xué)的技術(shù)轉(zhuǎn)讓简卧，它依靠激光兔魂、材料和聲波之間的相互作用實(shí)驗(yàn)超精密材料物性举娩，薄膜厚度檢測

系統(tǒng)使用無接觸，無損光學(xué)測量铜涉。運(yùn)用激光產(chǎn)生100GHz以上超高頻段超聲波智玻，以此檢測獲得材料諸如厚度，附著力芙代，界面熱阻吊奢，熱導(dǎo)率等。

產(chǎn)品尤其適測量從幾納米到幾微米的薄層纹烹，無論是不透明的（金屬页滚、金屬氧化物和陶瓷），還是半透明和透明的裹驰。 這種全光學(xué)無損檢測技術(shù)（without contact, no damage, no water, no Xray）不受樣品形狀的影響隧熙。

產(chǎn)品適用精度可以達(dá) 1nm to 30 microns , Z軸分辨率為亞納米

于此同時(shí)，系統(tǒng)提供附著力幻林、熱性能（納米結(jié)構(gòu)界面熱阻）測量分析

多種材料適用性

廣泛的材料至關(guān)重要。我們的技術(shù)已證明其能夠測量許多金屬材料以及陶瓷和金屬氧化物沪饺，并且不受外形因素的影響躏敢。

廣泛的應(yīng)用中發(fā)揮作用

半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體行業(yè)為我們周圍遇到的大多數(shù)電子設(shè)備提供了基本組件。它的制造需要在硅晶片上進(jìn)行多次薄膜沉積整葡，件余。

工業(yè)過程中遭居，厚度測量和界面表征都是確保質(zhì)量的關(guān)鍵蛾扇。尤其是半導(dǎo)體行業(yè)中多層/單層不透明薄膜沉積

對于以上問題，我們針對提供：

-高速控制檢測

-無損無接觸測量

-單層/多層測量

顯示行業(yè)

今天，不同的技術(shù)競爭主導(dǎo)顯示器的生產(chǎn)坟漱，而顯示器在我們的日常使用中無處不在鼠次。事實(shí)上，由于未來 UHD-8K 標(biāo)準(zhǔn)以及新興柔性顯示器的制造工藝芋齿，這不斷擴(kuò)大的行業(yè)存在技術(shù)限制

單個(gè)像素仍然是一堆薄層有機(jī)墨水腥寇、銀、ITO……在這方面觅捆，控制薄層厚度的問題仍然存在赦役。這些問題可能會導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量缺陷。

對此我們可提供：

- 對此類層級樣品的獨(dú)特檢查掂摔。
- 提取厚度的可能性。
- 非破壞性和非接觸式厚度測量赢赊。

薄層沉積

無論是在航空工業(yè)還是醫(yī)療器械制造領(lǐng)域乙漓，技術(shù)涂層都可用于增強(qiáng)高附加值部件中的某些功能。這些涂層的厚度隨后成為確保目標(biāo)性能的關(guān)鍵因素释移。

接觸式破壞測量對于此領(lǐng)域會帶來特定問題叭披，且受限于待測樣品形狀因素、曲率等原因玩讳，很難控制樣品特性

對此我們可以提供：

不改變樣品形貌無損檢測（Form factor postage）

快速厚度測量

在線測量控制

部分合作單位