掃描鏡是通過(guò)精確控制鏡面的偏角來(lái)控制光束的偏轉(zhuǎn)方向蕴轨，掃描鏡可用于光束的指向控制和掃描。昊量光電可提供的光束偏轉(zhuǎn)產(chǎn)品包括以下產(chǎn)品：
1）MEMS 掃描鏡：由靜電驅(qū)動(dòng)骇吭，可提供鏡面直徑從0.8-7.5mm不等產(chǎn)品橙弱。一個(gè)產(chǎn)品可在點(diǎn)對(duì)點(diǎn)、一個(gè)軸諧振另外一個(gè)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)控制燥狰，兩個(gè)軸諧振三種不同模式下工作棘脐。
2）音圈電機(jī)偏轉(zhuǎn)鏡：該振鏡單個(gè)鏡面可實(shí)現(xiàn)二維掃描，鏡面達(dá)15mm龙致，機(jī)械偏角達(dá)25°荆残。
3）微型振鏡：驅(qū)動(dòng)器內(nèi)置，體積僅12*12.5mm净当，鏡面可更換
4）快反鏡：由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)内斯，角度定位分辨率可達(dá)nrad蕴潦，由于精確光束偏轉(zhuǎn)控制。
