相位偏折術(shù)/相位偏折測(cè)量系統(tǒng)
偏折測(cè)量技術(shù)（PDM）又稱(chēng)為相位偏折術(shù)或條紋反射法刊咳，是一種非接觸式、低成本儡司、高魯棒性且高精度的面形測(cè)量技術(shù),絕對(duì)檢測(cè)精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面娱挨、球面、非球面捕犬、離軸拋物面跷坝、自由曲面等面型的高精度檢測(cè)酵镜。具有測(cè)量角度大、非接觸柴钻、精度高淮韭、速度快等特點(diǎn)。
上海昊量光電設(shè)備有限公司近日推出市面上shou款商業(yè)化的共軸偏折術(shù)測(cè)量系統(tǒng)贴届，具有操作方便靠粪，檢測(cè)精度高（<15nm RMS）,應(yīng)用范圍廣等特點(diǎn)。相位偏折測(cè)量系統(tǒng)主要由ccd相機(jī) 粱腻、LCD顯示屏和待測(cè)件三個(gè)部分組成庇配，系統(tǒng)配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結(jié)構(gòu)光正弦條紋绍些，正弦條紋被待測(cè)鏡表面反射后發(fā)生畸變捞慌，CCD相機(jī)采集畸變后的條紋，再利用相位斜率映射關(guān)系從畸變的條紋圖中計(jì)算出待測(cè)鏡梯度信息柬批，再根據(jù)基梯度數(shù)據(jù)的面形重構(gòu)算法啸澡，重建出待測(cè)鏡的面形。
圖1 偏折術(shù)測(cè)試系統(tǒng)
檢測(cè)精度高：<15nm RMS
測(cè)量范圍寬：能夠測(cè)量平面氮帐、球面嗅虏、非球面、離軸拋物面上沐、自由曲面等皮服；
對(duì)環(huán)境噪聲不敏感：具有非常強(qiáng)的抗環(huán)境干擾；
系統(tǒng)搭建簡(jiǎn)單参咙、性?xún)r(jià)比高：使用商業(yè)化的配件龄广，對(duì)成像光路沒(méi)有特殊要求。
圖2 平面鏡（λ/10）檢測(cè)
圖3 球面鏡（Thorlabs ,CM508-500-G01）檢測(cè)
圖4 離軸拋物面鏡檢測(cè)
圖5 ONERA公司TMA自由曲面檢測(cè)（右側(cè)為LUPHOScan輪廓儀測(cè)試結(jié)果）
隨著工業(yè)制造業(yè)發(fā)展蕴侧，我國(guó)在航空航天择同、高端裝備制造、汽車(chē)工業(yè)净宵、生物醫(yī)學(xué)與通信和微電子高科技等領(lǐng)域方面對(duì)鏡面和鏡面類(lèi)等零件需求越來(lái)越大敲才，其已經(jīng)成為了我國(guó)在通信行業(yè)的關(guān)鍵零件之一。制造過(guò)程中有一道必要工序就是面形檢測(cè)择葡，目前的常用檢測(cè)方法存在檢測(cè)效率低紧武，檢測(cè)精度不滿(mǎn)足要求等問(wèn)題，隨著上海昊量光電設(shè)備有限公司相位偏折測(cè)量系統(tǒng)（偏折術(shù)）推出刁岸，可以有效助力我國(guó)的科技項(xiàng)目脏里。
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產(chǎn)品標(biāo)簽：偏折術(shù),相位偏折術(shù),LUPHOScan,輪廓儀,激光干涉儀,干涉儀,白光干涉儀,PDM,偏折測(cè)量,偏折,相位偏折,條紋反射法,Deflectometry,泰勒霍普森
