50W 大功率紫外UV-LED曝光光源（ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圓）
---多適用于半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域
ALE/1C大功率UV-LED光源是一款強(qiáng)大的紫外LED點(diǎn)光源铐达，輸出功率可達(dá)到50W,用于驅(qū)動(dòng)高性能工業(yè)紫外曝光工具。ALE/1C這款大功率UV-LED光源通常適用于6英寸（150mm）和8英寸（200mm）晶圓和寬帶晶圓步進(jìn)系統(tǒng)（1x步進(jìn)器和Mini 步進(jìn)器）的自動(dòng)和半自動(dòng)化掩膜對(duì)準(zhǔn)器檬果。它采用UV-LED技術(shù)瓮孙，具有出色的輸出穩(wěn)定性和靈活的光譜控制，優(yōu)于傳統(tǒng)的高壓汞放電燈选脊。它還消耗更少的電力杭抠，不產(chǎn)生那么多的熱量，持續(xù)時(shí)間更長(zhǎng)知牌，并且需要較少的整體維護(hù)。
我們的ALE/1C大功率紫外UV-LED光源斤程，奉行多功能利用原則角寸，將產(chǎn)品打造為可集成3個(gè)波段的UV-LED曝光光源菩混。大多數(shù)情況下，都是i線（365nm), h線（405nm）和g線（435nm)扁藕，輻射的功率超過(guò)傳統(tǒng)的1000W放電汞燈沮峡，關(guān)鍵我們的產(chǎn)品還是純“綠色"光源,無(wú)毒害危險(xiǎn)。
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源應(yīng)用場(chǎng)景：
| 光固化應(yīng)用 | 半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域 | 其他應(yīng)用 |
| 1亿柑、高密度紫外固化（工業(yè)） | 1邢疙、晶圓曝光機(jī)系統(tǒng) | 1、高功率紫外成像 |
| 2望薄、多點(diǎn)疟游、大區(qū)域固化 | 2、寬帶晶圓步進(jìn)系統(tǒng) | 2痕支、高輻射應(yīng)用等 |
| 3颁虐、掩膜對(duì)準(zhǔn)器 |
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源主要特點(diǎn)：
高達(dá)50W的寬帶曝光（350-450nm）;
內(nèi)置解決方案實(shí)現(xiàn)高效率和性能；
閉環(huán)控制輸出卧须，確保實(shí)現(xiàn)過(guò)程穩(wěn)定性另绩；
分布式設(shè)計(jì)，產(chǎn)品緊湊易于集成花嘶；
高品質(zhì)保證笋籽，維護(hù)成本低；
ALE/1C 紫外LED曝光光源分布式模塊設(shè)計(jì)展現(xiàn)：
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源性能圖譜展示：
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源規(guī)格參數(shù)：
| 發(fā)光單元選項(xiàng) | 通常365nm,405nm椭员，435nm, | 也可在365-970nm范圍選擇 發(fā)射器的中心波長(zhǎng)（CWL)：367.5±2.5 nm车海、402.5±2.5 nm和435.0±2.5 nm |
| 總輻射功率 | 高達(dá)40W (50W時(shí)選裝外部冷卻器) | |
| 輸出光強(qiáng)度 | 高達(dá)100,000mW/cm2 | |
| 數(shù)值孔徑 | 可變，取決于聚光器件 | |
| 控制配置 | 1拆撼、獨(dú)立的電源管理和預(yù)設(shè)容劳； 2、高精度光強(qiáng)調(diào)整（20%-100%); 3闸度、LED上升時(shí)間約為1ms; 4竭贩、通過(guò)內(nèi)部和外部信號(hào)連續(xù)監(jiān)控光輸出和反饋控制； | |
| 通信接口 | 1莺禁、USB: ALE/遠(yuǎn)程 （ALE PC軟件）留量； 2、PLC: 離散接口哟冬； 3楼熄、現(xiàn)場(chǎng)總線：根據(jù)客戶要求（例如CANopen绸贡，PROFINET） | |
| 熱管理 | 1排监、內(nèi)部液體冷卻； 2践樱、外部冷卻（可選）翰灾，用于提高至50W輸出功率缕粹； | |
| 尺寸 | 1稚茅、ESS: 20 cm X 13 cm X 20.5 cm (7.9″ X 5.1″ X 8.1″) 2、CSS: 20 cm X 15 cm X 45 cm (7.9″ X 5.9″ X 17.7″) 3平斩、CSS (機(jī)架): 44 cm X 18 cm X 37 cm (17.3″ X 7.1″ X 14.6″) | |
| 重量 | 1亚享、ESS: 5 kg (11 lbs) 2、CSS: 9 kg (20 lbs) 3绘面、CSS (機(jī)架): 10 kg (22 lbs) | |
| 輸入電源 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W | |
| 光導(dǎo)選擇 | 1欺税、六角形、方形和圓形光導(dǎo)管（即?6.5 mm和?8.0mm ） 2揭璃、定制聚光器或聚焦光學(xué)器件 |
產(chǎn)品標(biāo)簽：365nm UV-LED,UV LED,紫外LED光源,405nm UV-LED光源, 435nm紫外光源,大功率UV LED,UV-LED曝光光源
