DMD無掩模光刻機(jī) SmartPrint UV System
DMD無掩模光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無掩模光刻設(shè)備，可兼容多種光刻膠和基材蘸嘶。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀良瞧，而不需要硬掩模陪汽。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù)，投影出具有微米分辨率的圖像褥蚯，無掩模光刻機(jī)SmartPrint無需任何進(jìn)一步步驟挚冤，就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無掩模光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是MEMS, 微流體赞庶，二維材料训挡，自旋電子學(xué)，生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案尘执。
主要特性：
兼容SU-8舍哄、i、h誊锭、g線表悬、AZ系統(tǒng)和寬帶光刻膠等
SmartPrint-UV配備了385 nm光源或者405nm激光光源，以兼容標(biāo)準(zhǔn)i, h和g線光刻膠丧靡，如SU8或AZ?1500系列
適用于各種各樣的基材
除了硅蟆沫、玻璃、塑料温治、金屬等基材還可兼容非標(biāo)準(zhǔn)基材(柔性薄膜基底饭庞，非平的，厚的)熬荆。
高速激光掃描振鏡曝光速度
1000mm/s（10倍物鏡）或 5000mm/s（2.5倍物鏡）
可對激光直寫過程進(jìn)行實時監(jiān)控
物鏡類型
我們的物鏡經(jīng)過精心選擇舟山，有1X、2.5X卤恳、5X累盗、10X四款鏡頭，具有較長的工作距離(高達(dá)3厘米)突琳，使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù)若债。
可調(diào)直寫范圍和分辨率——用戶可獲得4種不同的直寫分辨率
蕞小特征尺寸≤1um
手動旋轉(zhuǎn)臺：360°可旋轉(zhuǎn)，精度 0.1°
兼容任何尺寸的樣品拆融，可至5平方英寸
對齊方式直觀——反饋相機(jī)與第二束590nm準(zhǔn)直光源疊加使用
占地空間小蠢琳，易維護(hù)
應(yīng)用領(lǐng)域：
光器件 微流控 微電子
指標(biāo)參數(shù)：
產(chǎn)品標(biāo)簽：DMD式無掩模光刻機(jī),無掩膜光刻機(jī),無掩膜曝光機(jī),Maskless Photo-Lithography,數(shù)字掩膜光刻機(jī),激光直寫,激光直寫光刻機(jī),納米光刻機(jī),無掩膜納米光刻機(jī),DMD無掩膜光刻機(jī),桌面式光刻機(jī),臺式納米光刻機(jī),臺式無掩膜光刻機(jī),小型納米光刻機(jī),臺式光刻機(jī),微流控芯片
