KALEO MultiWAVE 多波長動(dòng)態(tài)干涉儀
【KALEO MultiWAVE 簡介】
Phasics在光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新赶么，推出能夠兼顧測(cè)量透射波前誤差和反射波前誤差（TWE / RWE）的革命性新產(chǎn)品：Kaleo MultiWAVE動(dòng)態(tài)干涉儀。 直徑高至5.1英寸（130毫米）的鍍膜和未鍍膜的光學(xué)器件可在其工作波長下直接進(jìn)行測(cè)量脊串。 Kaleo MultiWAVE是購買多臺(tái)干涉儀或特殊波長干涉儀的有效替代方案辫呻，擁有極高性價(jià)比清钥。 該系統(tǒng)同時(shí)可提供媲美Fizeau干涉儀測(cè)量精度，及動(dòng)態(tài)干涉儀的抗震性能放闺。
【關(guān)于Phasics】
Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國公司祟昭。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)與獨(dú)特的波前測(cè)量技術(shù)為客戶提供全面的高性能波前傳感器。
一怖侦、 KALEO MultiWAVE 主要特點(diǎn)
紫外篡悟、可見光、近紅外匾寝、短波紅外搬葬、中遠(yuǎn)紅外等任意多波長定制
單臺(tái)干涉儀可集成多個(gè)工作波長
納米級(jí)相位分辨率
超高動(dòng)態(tài)范圍 (>500 條紋數(shù))
二、KALEO MultiWAVE 應(yīng)用
光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量
三艳悔、KALEO MultiWAVE 測(cè)量案例
四急凰、KALEO MultiWAVE 指標(biāo)參數(shù)(1)
| RMS重復(fù)性 (2) | < 0.7 nm (< λ / 900) |
| 測(cè)量精度 | 80 nm PV (3) |
| 動(dòng)態(tài)范圍（離焦值） | 500 fringes (SFE = 150 μm) |
| 可測(cè)反射率范圍 | 4% - 100% |
(1) 四英寸口徑，使用625 nm光源
(2) 在4英寸參考鏡上執(zhí)行36次連續(xù)測(cè)量猜年，每一次測(cè)量使用均化值為16次抡锈。 參考定義為所有奇數(shù)測(cè)量的平均值。 RMS重復(fù)性定義為RMS平均差值乔外，加上偶數(shù)測(cè)量值與參考之間差值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的2倍企孩。
(3) 1 μm PV 離焦像差下
產(chǎn)品標(biāo)簽：多波長,動(dòng)態(tài)干涉儀,phasics,kaleo,multiwave,MultiWAVE,紫外, 可見光,近紅外,短波紅外,傳函儀,干涉儀,波前傳感器,波前分析儀,波前像差
