WLI白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo
三豐Mitutoyo新推出具有更高干涉信號(hào)對(duì)比度，可以同時(shí)測(cè)高反射率部分和低反射率部分樣品的白光干涉顯微鏡及物鏡膏秫。
白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 實(shí)現(xiàn)非接觸式3D表面形狀測(cè)量和輪廓測(cè)量
可利用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測(cè)量
（例如：3D形狀測(cè)量囤躁、3D粗糙度測(cè)量）
● 不依賴于光學(xué)倍率的高度測(cè)量精度
即使是低倍率鏡頭，也可使用Z向高分辨力進(jìn)行測(cè)量
● 高縱橫比測(cè)量
不依賴于光學(xué)系統(tǒng)的NA進(jìn)行檢測(cè)荔睹，支持高縱橫比形狀測(cè)量
● 抗干擾震動(dòng)的高穩(wěn)定性
● 小型輕便
使用一般的WLI系統(tǒng)狸演，測(cè)量不同反射率的產(chǎn)品時(shí)：
當(dāng)視野中包含高反射率和低反射率的部分
1)配合反射率高的部分調(diào)整光量時(shí)，反射率低的部分會(huì)光量不足僻他。
2)配合反射率低的部分調(diào)整光量時(shí)宵距，反射率高的部分光量發(fā)生飽和，無(wú)法測(cè)量吨拗。
而使用三豐的WLI測(cè)量反射率不同地方的測(cè)量時(shí)满哪，當(dāng)視野中包含反射率高部分和反射率低部分，光量對(duì)準(zhǔn)反射率低的部分劝篷，也可測(cè)量反射率高的部分哨鸭。
白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo產(chǎn)品規(guī)格：
| 貨號(hào) | 554-001 | 554-002 | 554-003 | |
| 產(chǎn)品名稱 | WLI-Unit-003 | WLI-Unit-005 | WLI-Unit-010 | |
| WLI-Unit傳感器測(cè)頭 | 電纜長(zhǎng)度 | 5 | ||
| 適用物鏡 | WLI Plan Apo系列 | |||
| 成像倍率 | 1× | |||
| 焦距f（mm） | 100 | |||
| 掃描裝置 | 物鏡掃描儀 | |||
| 尺寸/質(zhì)量 | 108×68×191mm/1.7kg | |||
| WLI測(cè)量 | Z向移動(dòng)范圍 | 8000 um | ||
| 測(cè)量模式 | 高通量 | 標(biāo)準(zhǔn) | 高分辨率 | |
| WLI測(cè)量Z向范圍 | 2100 um | 1900 um | 1700 um | |
| 通量 @ 20um范圍 | 3 s | 4 s | 6 s | |
| Z向分辨率 | - | 4 nm | ||
| Z向重復(fù)性 | - | 40 nm | ||
| 軟件 | WLIPAK | WLI-Unit控制庫(kù)SDK、示例代碼娇妓、WLIPAK示例GUI | ||
| WLI-Unit校準(zhǔn)SW | 像素校準(zhǔn) | |||
| 分析軟件(推薦選件) | MCubeMap | |||
| 其它 | 圖像采集卡/PC | Matrox圖像采集卡（標(biāo)配）/另需準(zhǔn)備PC | ||
白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo案例：
白光干涉測(cè)量用物鏡WLI Plan Apo
白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo產(chǎn)品特點(diǎn)：
與WLI-Unit配套的新設(shè)計(jì)
確保長(zhǎng)工作距離像鸡，小型輕量化（齊焦距離60mm）
高NA，高分辨力
平場(chǎng)復(fù)消色差
物鏡內(nèi)部搭載分光器和參考鏡
標(biāo)配干涉條紋調(diào)整裝置
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產(chǎn)品標(biāo)簽：白光干涉顯微鏡,白光干涉儀,3D形貌測(cè)量,三維形貌測(cè)量?jī)x,3D形貌成像,3D形貌成像儀,白光干涉物鏡,亞納米形貌測(cè)量
