70W大功率紫外 UV-LED曝光光源（ALE/2系列狈邑，12英寸晶圓）
--- 適用于12英寸大型基板曝光
ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源城须，高達(dá)70W的i線(365nm)曝光,高達(dá)80W的寬帶曝光（350-450nm）,適用于均勻度較高以及準(zhǔn)直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸）官地，目前已廣泛試用在掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)酿傍，步進(jìn)系統(tǒng)(高端封裝）,準(zhǔn)直曝光系統(tǒng)及大功率輻射要求的固化系統(tǒng)，ALE/2系列UV-LED曝光光源已成為半導(dǎo)體光刻制造及檢測(cè)領(lǐng)域中的一個(gè)理想工具驱入。
ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外點(diǎn)光源赤炒，適用于需要完美均勻和準(zhǔn)直輻射的大型基材工業(yè)泛光曝光工具氯析。這些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模對(duì)準(zhǔn)器。它的紫外線輸出足夠強(qiáng)大莺褒，可以為更大的裝置提供動(dòng)力掩缓，正方形曝光面積可達(dá)400 X 400毫米，在某些情況下遵岩，甚至超過(guò)這個(gè)范圍你辣。ALE/2采用UV-LED技術(shù)，具有優(yōu)異的輸出穩(wěn)定性和靈活的光譜控制尘执，優(yōu)于傳統(tǒng)的高壓汞放電燈舍哄。此外，它還消耗更少的電力誊锭，產(chǎn)生更少的熱量表悬，持續(xù)時(shí)間更長(zhǎng)，并且不需要太多的整體維護(hù)丧靡。
ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中組合四個(gè)反饋控制的高功率UV-LED蟆沫。可提供i線（CWL 365 nm）和寬帶（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置温治。在純i線工藝中饭庞，ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美額定功率高達(dá)5,000 W的傳統(tǒng)放電汞燈光源。對(duì)于寬帶模式熬荆，ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可與2,000 W放汞燈光源相媲美舟山。
ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式設(shè)計(jì)方法，通常由一個(gè)控制子系統(tǒng)（CSS）+一個(gè)單獨(dú)的曝光子系統(tǒng)（ESS）組成惶看。ESS 的標(biāo)準(zhǔn)光出口是一個(gè) 16 mm X 16 mm 的光管 捏顺，光引擎可以與標(biāo)準(zhǔn)和定制的聚光光學(xué)元件結(jié)合使用，以實(shí)現(xiàn)高度均勻的曝光纬黎。
ALE/2系列UV-LED曝光光源應(yīng)用場(chǎng)景：
| 半導(dǎo)體光刻制造（12英寸大基板） | 光固化應(yīng)用和其他 |
| 掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | 大面積光固化（400mm） |
| 步進(jìn)系統(tǒng)（高端封裝） | 高輻射劑量固化應(yīng)用 |
| 準(zhǔn)直曝光系統(tǒng) | 紫外成像 |
| 晶圓光刻曝光 | |
| 晶圓缺陷檢測(cè) |
ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特點(diǎn)：
內(nèi)置解決方案可實(shí)現(xiàn)更高曝光效率和性能幅骄；
高達(dá)70W的純i線曝光（365nm）;
高達(dá)80W的寬帶模式曝光（350-450nm）;
閉環(huán)光控制輸出；
無(wú)汞本今，綠色光源拆座；
無(wú)需外部冷卻，更節(jié)能冠息；
ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：
ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源規(guī)格參數(shù)：
| 發(fā)光單元選項(xiàng) | 多大4個(gè)波長(zhǎng)挪凑，如365nm, 385nm，405nm,435nm |
| 輸出功率 | up to 80W@寬帶逛艰， up to 70W@i線-365nm |
| 數(shù)值孔徑 | NA 0.3(2a ~35°) 配合標(biāo)準(zhǔn)聚光鏡 （condenser） |
| 控制配置 | 1躏碳、獨(dú)立的LED電源管理和預(yù)設(shè)； 2散怖、高分辨率強(qiáng)度調(diào)整（10%-100%）菇绵； 3肄渗、LED上升時(shí)間<1ms； 4咬最、持續(xù)監(jiān)控光輸出和反饋控制翎嫡； |
| 通訊接口 | 1、離散PLC接口（TTL）永乌； 2惑申、USB(串行)； 3翅雏、以太網(wǎng)/MOdbuS TCP/IP （可選）圈驼； |
| 熱管理 | 1、帶內(nèi)部散熱器的液體冷卻（Standard mode）枚荣； 2碗脊、外部冷卻器（可選項(xiàng)）啼肩，（performance mode ）; |
| 尺寸（W H D） | ESS 21 x 21 x 36cm 橄妆； CSS 44 x18 x 37cm ; |
| 重量 | ESS 4Kg ; CSS 10Kg ; |
| 電源輸入 | 110-240V/ 50-60Hz / 1500W |
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產(chǎn)品標(biāo)簽：ALE/2 高功率紫外曝光光源,大基板曝光光源,半導(dǎo)體光刻光源,高功率紫外LED光源,汞燈,高功率紫外光刻光源,UV-LED光源,UV LED,
