快速控制反射鏡（Fast Steering Mirror）禀综，簡(jiǎn)稱快反鏡掠廓。是光電精密跟蹤系統(tǒng)中必不可少的一部分换怖，是采用反射鏡面在光源和接收器
之間精確控制光束方向的一種裝置◇扒疲快反鏡使用壓電陶瓷或音圈電機(jī)來對(duì)光束進(jìn)行快速微小角度偏轉(zhuǎn)的位移沉颂。
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快反鏡是光電精密跟蹤系統(tǒng)中重要的一部分，用來精確控制光束方向悦污≌桌溃快反鏡響應(yīng)速度快，控制精度高塞关。可以用來校正光路中的傾斜誤
差子巾，也可以用來穩(wěn)定光束的指向帆赢，還可以用在快速跟蹤系統(tǒng)中∠吖＃快反鏡在驅(qū)動(dòng)元件作用下控制反射鏡面的快速高頻轉(zhuǎn)動(dòng)椰于，實(shí)現(xiàn)光束的高
速精確指向、穩(wěn)定和跟蹤仪搔。
壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器是快反鏡理想的驅(qū)動(dòng)方式瘾婿。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的快反鏡由反射鏡、柔性鉸鏈烤咧、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器偏陪、基座、電阻應(yīng)變片式傳感器
和電路結(jié)構(gòu)等組成煮嫌。如下圖所示：
在快反鏡中使用的壓電陶瓷需要納米級(jí)別的高分辨率笛谦。壓電陶瓷的使用可以顯著提高諧振頻率和靈敏度。壓電陶瓷的工作利用了壓電效
應(yīng)昌阿。某些物質(zhì)受到外力時(shí)饥脑，不僅幾何尺寸發(fā)生變化恳邀，而且內(nèi)部極化。表面電荷出現(xiàn)形成電場(chǎng)灶轰。當(dāng)外力消失時(shí)有重新回復(fù)到不帶電狀態(tài)
谣沸，這種效應(yīng)被稱為正壓電效應(yīng)。相反地笋颤，當(dāng)對(duì)壓電晶體施加電場(chǎng)時(shí)乳附，不僅產(chǎn)生了極化還產(chǎn)生了形變，這種效應(yīng)被稱為逆壓電效應(yīng)椰弊。
給壓電陶瓷加電壓時(shí)许溅，壓電陶瓷會(huì)有一個(gè)可以達(dá)到納米級(jí)別的位移。這個(gè)位移和所加的電壓大致成正比秉版。在實(shí)際應(yīng)用中贤重，為了增大位移
和輸出力，常常采用堆疊型壓電陶瓷執(zhí)行器清焕。和傳統(tǒng)的電機(jī)結(jié)構(gòu)相比并蝗，壓電陶瓷不需要傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，位移控制精度高秸妥；響應(yīng)速度快滚停，無機(jī)
械吻合間隙，可實(shí)現(xiàn)電壓隨動(dòng)式位移控制粥惧；有較大力輸出键畴；功耗低，且位置保持情況下幾乎無功耗突雪；是固體器件起惕，容易和電源、傳感
器咏删、微機(jī)等實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制惹想。
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