壓電亞納米/納米平移臺(tái)（壓電直推型贰逾，0-1500μm行程）大行程納米平移臺(tái)（壓電馬達(dá)型菠秒，10-150mm行程）ALIO高負(fù)載電動(dòng)線性/二維位移臺(tái)-高精度納米級(jí)ALIO高精度六軸位移臺(tái)/六足位移臺(tái)Hybrid Hexapod美國(guó)ASI公司高精度顯微鏡載物臺(tái)/位移臺(tái)高精度中型六軸位移臺(tái)（六自由度機(jī)器人）高負(fù)載中型六軸位移臺(tái)(六足機(jī)器人)緊湊型高負(fù)載六軸位移臺(tái)（六自由度位移臺(tái)）高精度小型六軸位移臺(tái)（六自由度位移臺(tái)）空氣軸承系統(tǒng)——ALIO納米級(jí)高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)GriPhi高精度微型電動(dòng)夾爪ALIO定制化控制運(yùn)動(dòng)位移臺(tái)高精度壓電馬達(dá)夾爪電動(dòng)垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)-ALIO高精度納米級(jí)高負(fù)載
大角度閉環(huán)微型振鏡快速反射鏡/快速傾斜鏡MEMS掃描鏡激光光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)激光束自動(dòng)準(zhǔn)直穩(wěn)定系統(tǒng)MEMS掃描鏡開發(fā)套件智能多邊形掃描儀（多面轉(zhuǎn)鏡）一維/二維無串?dāng)_大負(fù)載壓電快速偏擺臺(tái)
