膜厚測(cè)量原理（三）-通過(guò)光譜反射確定薄膜特性

正文

膜厚測(cè)量原理（三）-通過(guò)光譜反射確定薄膜特性

薄膜反射率的振幅和周期取決于薄膜厚度，光學(xué)常數(shù)心俗，和界面粗糙度等其它特性傲武。在多于一個(gè)界面的情況下，薄膜的光學(xué)特性不可能以解析解的形式來(lái)算出來(lái)城榛，也不可能在每個(gè)波長(zhǎng)下描述n和k值揪利。實(shí)際應(yīng)用中，一定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的n和k由數(shù)學(xué)模型根據(jù)幾個(gè)可調(diào)節(jié)參數(shù)模擬得出狠持。薄膜特性通過(guò)計(jì)算厚度實(shí)驗(yàn)值及n與k模型參數(shù)的反射光譜來(lái)確定疟位，不斷調(diào)整這些數(shù)據(jù)，直到計(jì)算反射率和測(cè)量反射率相匹配喘垂。

n和K的建模

有許多數(shù)學(xué)模型描述波長(zhǎng)的函數(shù)n和k甜刻。為某種薄膜選擇模型時(shí)，在準(zhǔn)確描述相關(guān)波長(zhǎng)范圍n和k的情況下正勒，變量越少越好得院。一般來(lái)講，不同材料（如：電介質(zhì)章贞，半導(dǎo)體祥绞，金屬和非金屬）的光學(xué)常數(shù)隨波長(zhǎng)有很大的不同，需要不同的模型來(lái)描述阱驾。電介質(zhì) (K=0）模型通常有三個(gè)變量就谜，而非電介質(zhì)有五個(gè)或更多的變量。下面的例子里覆，是兩層薄膜結(jié)構(gòu)的模型丧荐，共考慮了18個(gè)可變量。

柯西： 

擬合參數(shù)：A,B,C（共3個(gè)）

無(wú)定形半導(dǎo)體：

擬合參數(shù)：（共5喧枷，9或13個(gè)）

晶狀半導(dǎo)體：

擬合參數(shù)：（共4虹统，7或10個(gè)）

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