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基于非球面鏡的激光光束整形器原理及選型(Beam shaping based on aspheric

發(fā)布時(shí)間:2022-09-29 15:23:12 瀏覽量:3731 作者:Eric

摘要

來自德國(guó)耶拿的Asphericon公司提供三種創(chuàng)新的平頂光束整形器邑狸,可在所有激光應(yīng)用中發(fā)揮較大的性能,分別是TopShape灭美、AiryShape和SqAiryShape推溃。基于非球面光學(xué)技術(shù),這些模塊化組件可以將高斯光束簡(jiǎn)單地轉(zhuǎn)化為各種圓形和方形的平頂激光光束輪廓铁坎。

激光光束整形器的輸入和輸出光束是可以自由擴(kuò)展的蜂奸。它們的光譜范圍很寬(300納米至2500納米),可應(yīng)用于計(jì)量學(xué)硬萍、顯微鏡或材料加工扩所。a|TopShape以及a|AiryShape和a|SqAiryShape可用于準(zhǔn)直激光器,也可用于光纖耦合光源朴乖。由于其緊湊的尺寸和精密非球面透鏡的使用祖屏,激光光束成形光學(xué)器件具有較佳的光學(xué)質(zhì)量。由于其模塊化設(shè)計(jì)和非球面鏡的裝配理念买羞,光束整形器可以快速連接到光學(xué)系統(tǒng)中袁勺,而無(wú)需進(jìn)一步調(diào)整。擴(kuò)束器易于使用畜普,可以簡(jiǎn)單地集成到現(xiàn)有的裝置中期丰,或與額外的擴(kuò)束組件相結(jié)合。所有光學(xué)元件在高精度支架上的較佳對(duì)準(zhǔn)吃挑,使平頂激光擴(kuò)束器能夠在光束路徑中較佳定位钝荡。

正文

a|TopShape                             

探索TopShape,一種創(chuàng)新的光束整形器舶衬,可以輕松地將準(zhǔn)直的高斯光束轉(zhuǎn)變?yōu)闇?zhǔn)直的Top-Hat光束埠通。這種激光設(shè)備以其非常緊湊的設(shè)計(jì)和較佳的光學(xué)性能(均勻性>90%)而令人信服。a|TopShape的光譜范圍大逛犹,可接受不同的輸入光束直徑端辱,并能產(chǎn)生至少300毫米的穩(wěn)定光束輪廓。

現(xiàn)在還可提供a|TopShape長(zhǎng)距離(LD)型圾浅,工作距離可達(dá)1.5米掠手。

a|TopShape現(xiàn)在也有長(zhǎng)距離版本。由于有效工作距離會(huì)隨著光束尺寸的減小而減小狸捕,因此a|TopShape LD特別適用于需要較小光束直徑的應(yīng)用。如果較低的光束輪廓均勻性足以滿足應(yīng)用要求众雷,新的光束整形器甚至可以實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的工作距離灸拍。


a|TopShape的規(guī)格參數(shù)

(1)較佳的光學(xué)性能(均勻性>90%),沒有任何功率損失砾省。

(2)光譜范圍大(350納米至2500納米)鸡岗,是多波長(zhǎng)應(yīng)用的理想選擇。

(3)可接受不同的輸入光束直徑(± 10 %)编兄。

(4)穩(wěn)定的光束輪廓(不均勻性<10 %):a|TopShape用于至少300毫米轩性,a|TopShape LD用于至少1米的長(zhǎng)工作距離。

(5)總長(zhǎng)度極短(89.6 - 93.6 mm)狠鸳。

(6)輸入光束直徑MAX@ 1/e2 = 10 mm揣苏;輸出光束直徑MAX@ FWHM = 15.2 mm和15.7 mm之間悯嗓。

(7)適用于較高激光功率的光束整形部件(根據(jù)要求定制涂層)。

(8)激光誘發(fā)的損傷閾值:12 J/cm2, 100 Hz, 6 ns, 532 nm卸察。


a|TopShape的外殼尺寸

 

a|TopShape的性能

下面的數(shù)字顯示了在工作距離為100毫米時(shí)脯厨,通過14個(gè)表面(包括7個(gè)非球面)后測(cè)得的波前(左)和通過12個(gè)表面(包括6個(gè)非球面)后的光束輪廓(右)。所得到的波前誤差均方根值為0.05λ坑质,對(duì)應(yīng)的Strehl(斯特列爾)值為0.9合武,證明了其非常高的光學(xué)質(zhì)量。由此產(chǎn)生的0.1的光束均勻性和0.4的ISO邊緣陡峭度強(qiáng)調(diào)了這一點(diǎn)涡扼。

 


a|TopShapeLD的性能

a|TopShape LD的突出特點(diǎn)是傳輸距離長(zhǎng)且穩(wěn)定稼跳。右圖顯示3000mm工作距離下的強(qiáng)度分布。它的特點(diǎn)是ISO光束均勻度為0.1吃沪。

 


波長(zhǎng)范圍

涵蓋波長(zhǎng)范圍|TopShape用于設(shè)計(jì)波長(zhǎng)355,632和1064nm汤善,以及|TopShape LD用于設(shè)計(jì)波長(zhǎng)[nm] 355,405,632,780和1064nm。

 


平頂強(qiáng)度分布優(yōu)勢(shì)

光束整形在激光材料加工和顯微鏡等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用巷波。高斯分布通常用于激光應(yīng)用萎津。它們?cè)趶?qiáng)度分布上有弱點(diǎn)。使用均勻的強(qiáng)度分布抹镊,即所謂的Top-Hats锉屈,可以獲得比使用高斯分布更好的結(jié)果。例如垮耳,它們能使激光束的邊緣陡度很高颈渊,從而提高切割邊緣的質(zhì)量,或者獲得均勻的照明终佛。受益于您的應(yīng)用的輕松處理!利用非球面光束整形器將高斯激光輪廓轉(zhuǎn)換為準(zhǔn)直或聚焦的平頂強(qiáng)度分布俊嗽。


a|TopShape應(yīng)用示例

如果基于不均勻照明的高斯光束輪廓,基于激光的廣域熒光顯微鏡的定量分析可能非常具有挑戰(zhàn)性铃彰。在這種情況下绍豁,使用a|TopShape可以提供幫助。將顯微鏡裝置中的高斯光束轉(zhuǎn)換為均勻的平頂輪廓牙捉,可確保顯微鏡載玻片的均勻照明竹揍,從而使圖像更容易識(shí)別。

在CREOL的一篇I. Khaw等人的論文中了解更多關(guān)于a|TopShape在寬場(chǎng)熒光顯微鏡中的使用邪铲,可以在這里下載:https://www.asphericon.com/fileadmin/user_upload/PDFs/Flat-field_illumination_for_quantiative_fluorescence_imaging_Han_Fuchs_2018.pdf

 

基于激光的顯微鏡設(shè)置芬位,使用ashericon的a|TopShape和a|BeamExpander進(jìn)行均勻照明


 

左邊是傳統(tǒng)系統(tǒng)(高斯光束)在FFI下的無(wú)邊界縫合圖像,右邊是a|TopShape(同質(zhì)性>95%)的縫合圖像带到。




a|AiryShape         

另一個(gè)針對(duì)波長(zhǎng)從300納米到1600納米優(yōu)化的光束整形器是a|AiryShape昧碉。這種光束整形元件與聚焦透鏡結(jié)合使用,可將準(zhǔn)直的高斯光束轉(zhuǎn)變?yōu)椴煌木劢构馐喞ㄈ鏣op-Hat、Donut)被饿。由于其緊湊的設(shè)計(jì)四康,a|AiryShape可以很容易地集成到現(xiàn)有的設(shè)備中。


a|AiryShape的規(guī)格

○產(chǎn)生不同的光束輪廓

○剖面尺寸可通過焦距輕松擴(kuò)展

○針對(duì)300納米到1600納米的波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化

○易于集成到現(xiàn)有設(shè)備中

○通過高精度安裝實(shí)現(xiàn)較佳的對(duì)準(zhǔn)

○緊湊型設(shè)計(jì)

○輸入光束直徑@ 1/e2 = 10 mm锹漱;輸出光束直徑dAiry = 10 mm

○激光誘發(fā)的損傷閾值:12 J/cm2, 100 Hz, 6 ns, 532 nm


a|AiryShape的尺寸

 

a|AiryShape的性能&靈活性

在下圖中箭养,沿其傳播方向(Z軸)的歸一化光束剖面圖被總結(jié)為一個(gè)圖。檢測(cè)范圍是腰部位置周圍的±1.5毫米哥牍。此外毕泌,在不同的工作平面上,相應(yīng)的有趣的強(qiáng)度剖面被顯示為二維和橫截面圖嗅辣。這兩張?zhí)卣鞴馐喞獔D都是用a|AiryShape(λ=635納米)生成的撼泛。根據(jù)a|AiryShape的工作原理,不僅可以在聚焦透鏡的焦平面上生成一個(gè)Top-Hat光束輪廓澡谭,而且還可以在不同的工作距離上生成各種輪廓愿题,以獲得靈活性。所示光束輪廓的生成取決于輸入光束的質(zhì)量蛙奖。為了達(dá)到較佳效果潘酗,需要一個(gè)較佳的準(zhǔn)直光束,并使波前畸Z小化雁仲。


a|AiryShape的波長(zhǎng)范圍

基于BeamTuning元素仔夺,AiryShape涵蓋了一個(gè)廣泛的波長(zhǎng)范圍,以滿足您的挑戰(zhàn)性應(yīng)用攒砖。

 


a|AiryShape應(yīng)用示例

除了優(yōu)化激光和加工參數(shù)外缸兔,焦點(diǎn)強(qiáng)度分布的調(diào)整為激光材料加工的高精度結(jié)果提供了巨大的潛力。asphericon與位于耶拿的Otto Schott材料研究所(OSIM)合作吹艇,分析了用a|AiryShape生成的各種定制強(qiáng)度分布惰蜜,以確定其是否適合用飛秒激光器進(jìn)行微納米尺度的材料加工,如切割受神、打標(biāo)和生成激光誘導(dǎo)的周期性表面結(jié)構(gòu)抛猖。所有結(jié)果均可在A. M?hl等人的論文中下載:https://www.asphericon.com/fileadmin/user_upload/PDFs/Tailored_focal_beam_shaping_and_its_application_in_laser_material_processing.pdf

 

左邊是用傳統(tǒng)系統(tǒng)(高斯光束)生成的鋼槽狀結(jié)構(gòu),中間和右邊是用光束整形器a|AiryShape生成的(左邊是面包圈輪廓鼻听,右邊是Top-Hat)樟结。



a|SqAiryShape

想在焦點(diǎn)中創(chuàng)建方形的Top-Hat輪廓?有了a|SqAiryShape就沒問題了精算。asphericon的光束整形器與聚焦透鏡相結(jié)合,從準(zhǔn)直的高斯光束中產(chǎn)生不同的方形聚焦光束輪廓(如Top-Hat, Donut)碎连。這種光束整形器在300納米到1600納米的波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行了優(yōu)化灰羽,其緊湊的設(shè)計(jì)(只有17.3毫米長(zhǎng))也給人留下了深刻的印象,可以很容易地納入現(xiàn)有的應(yīng)用設(shè)置中。它的工作距離可根據(jù)所使用的聚焦透鏡而大大縮短廉嚼。將一個(gè)qAiryShape與一個(gè)200毫米焦距的鏡頭和一個(gè)擴(kuò)束器結(jié)合在一起玫镐,已經(jīng)將總長(zhǎng)度減少了25%。


a|SqAiryShape的規(guī)格

○產(chǎn)生不同的方形光束輪廓

○剖面尺寸可通過焦距輕松調(diào)整

○對(duì)300納米到1600納米的波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化

○易于集成到現(xiàn)有設(shè)備中

○通過高精度安裝實(shí)現(xiàn)較佳的對(duì)準(zhǔn)

○輸入光束直徑@ 1/e2 = 10 mm怠噪;輸出光束直徑dAiry = 10 mm

○激光誘發(fā)的損傷閾值:12 J/cm2, 100 Hz, 6 ns, 532 nm


a|SqAiryShape的尺寸

 

a|SqAiryShape的性能和靈活性

下圖顯示了a|SqAiryShape(λ=1064nm)的光束輪廓截面恐似,以及它在不同工作平面上的強(qiáng)度輪廓。由于a|SqAiryShape的工作原理傍念,在焦點(diǎn)區(qū)域不僅產(chǎn)生了一個(gè)方形的Top-Hat輪廓矫夷,而且產(chǎn)生了各種具有四重對(duì)稱性的輪廓。從a|SqAiryShape生成的所有顯示的光束輪廓都取決于輸入光束的質(zhì)量憋槐。為了獲得較佳的結(jié)果双藕,需要一個(gè)較佳的準(zhǔn)直光束,并使波前像差Z小化阳仔。

 


a|SqAiryShape的波長(zhǎng)范圍

基于BeamTuning元素忧陪,a|SqAiryShape涵蓋了一個(gè)廣泛的波長(zhǎng)范圍,以滿足您的應(yīng)用需求近范。

 




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