單次測量光波導(dǎo)或者光子器件中的折射率,由于光波導(dǎo)低損耗的特性瑟捣，因此在光子設(shè)備和系統(tǒng)中被大量使用。光波導(dǎo)的折射率分布是決定插入損耗和傳播模式的關(guān)鍵參數(shù)迈套。基于定量相位成像技術(shù)（QPI）碱鳞，Phascis的波前分析儀可以作為測量折射率變化的高精度計量儀器桑李。準(zhǔn)確測量折射率變化，對于生產(chǎn)光子器件的開發(fā)窿给、優(yōu)化和質(zhì)量監(jiān)控是必要的贵白。作為一種非破壞性測量方法，QPI可提供精確的波導(dǎo)折射率分布崩泡。SID4成像系統(tǒng)適用于測量光纖或激光寫入波導(dǎo)戒洼。
光波導(dǎo)折射率測量
單次測量光波導(dǎo)或者光子器件中的折射率
由于光波導(dǎo)低損耗的特性允华，因此在光子設(shè)備和系統(tǒng)中被大量使用圈浇。光波導(dǎo)的折射率分布是決定插入損耗和傳播模式的關(guān)鍵參數(shù)靴寂×资瘢基于定量相位成像技術(shù)（QPI），Phascis的波前分析儀可以作為測量折射率變化的高精度計量儀器百炬。準(zhǔn)確測量折射率變化褐隆，對于生產(chǎn)光子器件的開發(fā)、優(yōu)化和質(zhì)量監(jiān)控是必要的庶弃。作為一種非破壞性測量方法，QPI可提供精確的波導(dǎo)折射率分布德澈。SID4成像系統(tǒng)適用于測量光纖或激光寫入波導(dǎo)歇攻。
集成在光學(xué)顯微鏡
Phascis定量相位成像（QPI）相機(jī)安裝在經(jīng)典明場顯微鏡上，并且無需修改顯微鏡梆造。Phasics輸出的相位圖可以輕易的轉(zhuǎn)化為折射率缴守，如下所示，OPD=(n2-n1)*d镇辉，其中n2和n1分別是周圍材料的折射率屡穗，并且波導(dǎo)和d是折射率變化區(qū)的厚度。
光波導(dǎo)測量結(jié)構(gòu)
波導(dǎo)成像可以在兩種不同裝置中完成：在XY或者正交平面忽肛。Phascis定量相位相機(jī)測量波導(dǎo)產(chǎn)生的光程差(OPD)。知道波導(dǎo)的機(jī)械尺寸后屹逛，就可以直接檢索折射率值础废。
OPD(nm)=(n波導(dǎo)-n稱底)*機(jī)械厚度(mm)
光波導(dǎo)測量結(jié)構(gòu)（正交）
上圖顯示汛骂，波導(dǎo)在正交配置中被切片和測量。
測量示例
optical path Difference (OPD) map
Changes of refractive index map
Waveguide design validation
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