近年來，亞納秒激光器憑借其短脈寬扭勉，熱效應小等特點被廣泛的應用于 LCD 及 OLED 激光修復應用中鹊奖。 LCD 和 OLED 在生產(chǎn)過程中經(jīng)常產(chǎn)生各種缺陷，亞納秒激光器可以針對不同缺陷的進行修復涂炎。亞納秒激光器在激光修復方面具有獨特的優(yōu)勢忠聚，憑借高精度、高效率等特性璧尸，有助于提高顯示屏的良品率和性能咒林，降低生產(chǎn)成本，在顯示面板行業(yè)具有重要的應用價值與廣闊的發(fā)展前景爷光。
亞納秒激光器在 LCD 及 OLED 激光修復中的應用
摘要
亞納秒激光器廣泛的應用于 LCD 及 OLED 激光修復應用中。 LCD 和 OLED 在生產(chǎn)過程中經(jīng)常產(chǎn)生各種缺陷徐裸，亞納秒激光器可以針對不同缺陷的進行修復遣鼓。亞納秒激光器在激光修復方面具有獨特的優(yōu)勢，憑借高精度重贺、高效率等特性骑祟，有助于提高顯示屏的良品率和性能，降低生產(chǎn)成本气笙，在顯示面板行業(yè)具有重要的應用價值與廣闊的發(fā)展前景次企。
在 LCD 制造過程中潜圃，經(jīng)常會出現(xiàn)短路和開路等缺陷缸棵。
對于短路缺陷，亞納秒激光器通過發(fā)射高能量密度的激光脈沖谭期，精準聚焦于短路部位堵第。瞬間的高能量使短路處的金屬或?qū)щ娢镔|(zhì)快速升溫，產(chǎn)生氣化隧出，實現(xiàn)斷路踏志，從而有效消除亮點、亮線鸳劳，恢復 LCD 正常顯示功能狰贯。
對于開路缺陷，亞納秒激光器采用激光誘導化學氣相沉積（LCVD）技術，利用脈沖能量促使氣態(tài)的金屬有機化合物分解涵紊，分解后的金屬原子在開路兩端沉積傍妒，逐漸形成導電通路，成功修復開路問題摸柄。
在OLED制造過程中颤练，經(jīng)常產(chǎn)生的缺陷包括亮點和暗點。
OLED亮點多由像素內(nèi)陰極驱负、陽極或有機功能層的局部短路或漏電引起嗦玖。納秒激光可以使亮點區(qū)域的陰極層、摻雜金屬層和有機功能層發(fā)生物理或化學變化跃脊，如促使摻雜金屬擴散至整個有機功能層宇挫，形成斷路，達到消除亮點的效果酪术。
針對有機材料發(fā)光效率降低引發(fā)的暗點器瘪，亞納秒激光器用于激發(fā)有機材料的熒光特性，提升其發(fā)光效率绘雁，使暗點變亮橡疼。對于電極接觸不良導致的暗點，激光器通過加熱或誘導材料遷移等手段庐舟，改善電極與有機層的接觸欣除，恢復像素正常發(fā)光，從而確保 OLED 顯示屏畫面均勻挪略、清晰历帚。
在 LCD 和 OLED 激光修復中抹缕，選擇納秒激光器的波長需要考慮多方面因素：
根據(jù)材料吸收特性選擇波長：在 LCD 中，ITO 電極等材料對特定波長的激光吸收效率存在差異墨辛。例如，綠光（532nm）在 ITO 中的吸收效果較好趴俘，因為其光子能量與 ITO 材料的電子躍遷能級較為匹配睹簇，能有效被吸收轉(zhuǎn)化為熱能，用于短路修復時可快速熔斷短路部位寥闪；而在 OLED 中太惠，有機材料層對紫外光（如 266nm）吸收較強，因為有機分子的化學鍵能與紫外光光子能量相近疲憋，通過紫外光照射能引發(fā)有機材料的光化學反應凿渊，有助于亮點修復等操作。
上海昊量光電設備有限公司代理的意大利BS公司的Wedge系列亞納秒激光器覆蓋1064nm、1570nm埃脏、3100nm搪锣、532nm、355nm和266nm等波長彩掐。激光脈沖能量可達4 mJ构舟，脈寬為400ps~1.5 ns，重復率可達100 kHz堵幽。Wedge系列激光器非常適合OLED的激光修復應用狗超。
根據(jù)修復深度與精度確認波長:激光器的波長會影響激光在材料中的穿透深度和聚焦精度。一般來說朴下，波長越短努咐，激光的聚焦光斑尺寸越小，能實現(xiàn)更高的修復精度殴胧，適合修復微小缺陷渗稍。在 OLED 的精細像素結(jié)構(gòu)中，通常選擇如 266nm短波長的亞納秒激光器溃肪，可以精準作用于單個像素免胃，避免影響周邊像素；而較長波長的激光（如1064nm/532nm）穿透能力較強惫撰，適合處理 LCD 中較深層的開路問題羔沙，能夠深入材料內(nèi)部實現(xiàn)導電通路的修復。
意大利Bright Solutions公司生產(chǎn)的Onda系列采用高能量的種子源MOPA結(jié)構(gòu)設計厨钻，其獨特的設計保證了激光器同時滿足較高的能量和較高的重復頻率扼雏。Onda系列可提供266nm、355nm夯膀、532nm和1064nm四個波長诗充，Onda激光器具有Up to 1mJ單脈沖能量，1 to 10 ns脈寬诱建，Single shot to 100kHz重頻等特點蝴蜓，非常適用于激光修復領域策泣。
根據(jù)熱影響要求確認波長：不同波長激光產(chǎn)生的熱效應不同咏尝。對于 OLED 這類對熱敏感的材料，若選擇長波長搁廓、熱效應明顯的激光押袍，可能會對有機功能層造成不可逆的損傷诵冒。因此，在 OLED 修復中多選擇355nm/266nm紫外或532nm綠光波段的激光器谊惭，.在 LCD 修復中汽馋，修復部位通常對熱相對不敏感侮东，可適當考慮1064nm紅外波段激光器，利用其較強的熱效應促進材料的熔化豹芯、沉積等修復過程悄雅。
昊量光電提供的Sol 6W 1064nm＋Sol 5W 532nm雙波長激光器在LCD激光修復領域應用廣泛。該激光器可以實現(xiàn)532nm和1064nm激光單口輸出告组，功率穩(wěn)定性優(yōu)于2%煤伟，重復頻率可實現(xiàn)Single shot to 100kHz范圍可調(diào)，同時可以提供20W@1064nm,10W@532nm高功率的選擇木缝。
在 LCD 及 OLED 激光修復中便锨，對激光器的能量穩(wěn)定性有較高的要求。因為顯示屏的結(jié)構(gòu)精細我碟，不同缺陷修復所需的能量差異微小放案，能量不穩(wěn)定或控制不精準，可能導致修復失敗矫俺，甚至損傷顯示屏吱殉。
昊量光電SOL系列激光器穩(wěn)定性測試數(shù)據(jù)/0.508%@1KHz
激光器的脈沖寬度和頻率要能夠靈活調(diào)節(jié)。LCD或OLED不同的修復工藝和缺陷類型厘托，對脈沖寬度和頻率的要求不同友雳，如短路修復和開路修復，就需要不同的重頻和脈寬铅匹。此外押赊，光斑質(zhì)量也是關鍵因素，需要光斑能量高斯分布包斑，光束質(zhì)量高流礁，發(fā)散角小等，以實現(xiàn)精準的修復操作罗丰，避免對周邊正常區(qū)域造成影響神帅。
Onda系列激光器單脈沖能力及脈寬于重頻的關系曲線
2.4 多波長切換
LCD 與 OLED 修復產(chǎn)線通常需集成綠光（532nm）+ 紫外（355nm）或綠光（532nm）+ 紫外（266nm）或綠光（532nm）+ 近紅外（1064nm）等雙波長組合激光器，從而應對不同的修復場景需求萌抵。
相較于傳統(tǒng)的納秒激光器，亞納秒激光器在 LCD 及 OLED 激光修復中優(yōu)勢明顯绍填。
首先萎坷，亞納秒激光器的脈沖寬度更短，一般為幾百皮秒（400-700ps）,能夠在極短時間內(nèi)釋放能量沐兰，這使得單脈沖更高，可實現(xiàn)更高精度的修復操作蔽挠，尤其適用于 OLED 顯示屏等結(jié)構(gòu)更為精細的產(chǎn)品住闯。
其次瓜浸，亞納秒激光器的熱效應相對于納秒激光器更低，在修復過程中產(chǎn)生的熱影響區(qū)域小比原。這有效避免了因熱量擴散導致的周邊材料性能變化和結(jié)構(gòu)損傷插佛，提高了修復的可靠性和顯示屏的穩(wěn)定性。
第三量窘，亞納秒激光器的能量轉(zhuǎn)換效率高雇寇，單位時間內(nèi)能夠輸出更多有效能量，在保證修復質(zhì)量的同時蚌铜，顯著提高了修復效率锨侯，有助于降低生產(chǎn)成本，提升生產(chǎn)效益冬殃。
亞納秒激光器憑借其獨特的超短脈沖特性與精準能量控制能力，已成為 LCD 及 OLED 面板缺陷修復的shou選光源审葬。在全qiu顯示面板產(chǎn)業(yè)向高分辨率深滚、柔性化發(fā)展的趨勢下，亞納秒激光修復技術將持續(xù)突破精度與效率瓶頸涣觉，推動顯示面板制造向智能化痴荐、綠色化方向邁進。未來官册，隨著激光器性能的進一步優(yōu)化與工藝的深度融合生兆，亞納秒激光修復技術有望在 Micro-LED、量子點顯示等新興領域發(fā)揮更大價值攀隔，為全qiu顯示產(chǎn)業(yè)升級注入新動能皂贩。
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