偏振光波通過介質(zhì)時(shí)與介質(zhì)發(fā)生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態(tài),測出這種偏振態(tài)的變化,進(jìn)而進(jìn)行分析擬合,得出我們想要的信息。
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橢偏儀（六）-橢偏儀數(shù)據(jù)處理模型-第二部分
繼續(xù)介紹我們上次的建模：
4.Selmeier模型 非常適用于透明材料和吸收材料,如 Al2O3并巍、SiO2抠蚣、MgF2、SiN4履澳、TiO2、ITO怀跛、KCl等,處于紅外波段的Ge距贷、Si,GaAs；材料在透明波段的光學(xué)常數(shù)具有較高的精確度吻谋。對于電子躍遷,當(dāng)光波能量遠(yuǎn)高于帶隙時(shí),同時(shí)考慮電子和晶格的貢獻(xiàn)：
這就是Selmeier色散公 式,實(shí)際應(yīng)用中用波長代替能量作為參量：
5.EMA(有效介質(zhì))模型 有效介質(zhì)模型應(yīng)用于兩種或兩種以上的不同組份合成的混合介質(zhì)體系,多達(dá) 5種不同材料組成的混合材料忠蝗、多晶膜、金屬膜漓拾、表面粗糙的膜阁最、多孔膜、不同材料或合金的分界面骇两、不完全起反應(yīng)的混合材(TiSi速种、WSi)、無定形材料和玻璃低千；其基本思想是將混合介質(zhì)當(dāng)作一種在特定的光譜范圍內(nèi)具有單一有效介電常量張量的“有效介質(zhì)”,是把均勻薄膜的微觀結(jié)構(gòu)與其宏觀介電常數(shù)相聯(lián)系.它包含3種有效介質(zhì)模型：
5.1 lorentz-Lorenz有效介質(zhì)模型 zui簡單的異構(gòu)介質(zhì)是介電函數(shù)分別為εa和 εb的兩種介質(zhì)隨機(jī)地混合在一起,其有效介電函數(shù)可以用如下式子估算：
式中fa,fb為介質(zhì)的份額,fa+fb=1配阵。
5.2 Maxwell-Garnett效介質(zhì)模型 上一模型假設(shè)主介質(zhì)為真空,即ε=1。更一般的情況是主介質(zhì)的介電函數(shù)是εh,次要介質(zhì)分散于主介質(zhì)中,當(dāng)εh=εa時(shí),有效介質(zhì)函數(shù)ε為
5.3 Bruggeman有效介質(zhì)模型 如果不同成分混雜在一起,不能區(qū)分誰是主介質(zhì),這時(shí)采用Bruggeman有效介質(zhì)模型：
fj為第ｊ種介質(zhì)所占的體積份額,且∑fj =1示血。在擬合實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)時(shí),有時(shí)會(huì)出現(xiàn)fj<0或fj>1,這時(shí)顯然有效介質(zhì)近似是不合適的,或物質(zhì)的組成模型與實(shí)際不符棋傍。有效介質(zhì)模型通常用于薄膜的粗糙表面和過渡層的分析.
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