非偏振分光鏡對(duì)橢偏儀的影響（二）-NPBS引入的橢偏參數(shù)誤差

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非偏振分光鏡對(duì)橢偏儀的影響（二）-NPBS引入的橢偏參數(shù)誤差

NPBS引入的橢偏參數(shù)誤差

式(6)是假設(shè)所有器件均為理想狀態(tài)下得到的結(jié)果厦画。如果考慮到多層介質(zhì)膜的退偏效應(yīng)疮茄，NPBS的瓊斯矩陣可以表示為：

其中：和分別代表NPBS的透射率和反射率，下標(biāo)p根暑，s表示平行分量和垂直分量力试。式(8)可以歸一化為：

其中：K分別是p排嫌，s分量的透射比和反射比畸裳；分別是NPBS的反射相移和透射相移，如式(10)所示淳地。

如果NPBS的p怖糊，s軸方向與圖1中的Y帅容，X軸不完全重合伍伤，而是存在一個(gè)方位角誤差θ丰嘉，則NPBS的瓊斯矩陣轉(zhuǎn)換為：

為簡(jiǎn)化分析過(guò)程，首先假設(shè)NPBS2為理想狀態(tài)嚷缭，只將NPBS1的瓊斯矩陣用式(11)表示饮亏。根據(jù)上述分析阅爽，可得測(cè)量信號(hào)和參考信號(hào)的光強(qiáng)：

其中：

開(kāi)始測(cè)量時(shí)路幸，可以用反射鏡代替被測(cè)薄膜，得到一個(gè)用于標(biāo)定的幅值比付翁。和相位差△^C简肴。這樣NPBS1引入的橢偏參數(shù)測(cè)量誤差就可以表示為：

如果假設(shè)NPBS1為理想狀態(tài)，而NPBS2的非理想狀態(tài)用式(11)表示砰识。根據(jù)上述分析，同理可得此時(shí)測(cè)量信號(hào)和參考信號(hào)的光強(qiáng)：

則NPBS2所引入的橢偏參數(shù)測(cè)量誤差可以表示為：

誤差分析與討論

NPBS的玻璃基片折射率為1.5416佣渴，交錯(cuò)鍍4層折射率分別為2.OO和1.45的分光介質(zhì)膜系辫狼，每層厚度均為1.5λ。NPBS的光學(xué)參數(shù)如表1所示辛润。

                                              表1 NPBS的光學(xué)參數(shù)

注：=0.3649，K=4.5257砂竖，=0.8438真椿，=0.7497；符號(hào)定義見(jiàn)式(8)～(10)乎澄。

后面我們將對(duì)NPBS1與NPBS2引入的誤差分別進(jìn)行分析突硝。

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