橢偏儀與偏振相位（五）-相位延遲量測(cè)量的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

正文

橢偏儀與偏振相位（五）-相位延遲量測(cè)量的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

實(shí)驗(yàn)中酗洒，在前述測(cè)試系統(tǒng)上用上述幾種方法測(cè)量了兩片樣品的位相延遲。兩測(cè)試樣品標(biāo)稱值分別為：630.2nm附近的λ／2波片和532.4nm附近的λ／4波片枷遂。光譜掃描曲線見圖1樱衷，測(cè)量數(shù)據(jù)見表1、2酒唉。

圖1 光譜法測(cè)630.2nm附近λ／2波片的掃描曲線

前面誤差分析表明矩桂，光譜法測(cè)量λ／2波片的誤差zui小，因而可以作為參考標(biāo)準(zhǔn)痪伦，其它方法測(cè)量結(jié)果可以與之相比較侄榴。由測(cè)量結(jié)果可見雹锣，光譜法與Soleil補(bǔ)償器法測(cè)得結(jié)果的偏差約為0.19%，兩種方法在誤差范圍內(nèi)符合很好癞蚕，得到了相互印證蕊爵。而兩種光強(qiáng)法的測(cè)量結(jié)果比照光譜法及Soleil補(bǔ)償器法測(cè)量結(jié)果差異較大。而且按照之前推導(dǎo)的公式無(wú)法判斷λ／2波片的延遲是小于還是>180°桦山，因此在括號(hào)中給出了>180°的情況攒射。特別值得注意的是，由于Glan棱鏡及光路缺陷對(duì)旋轉(zhuǎn)檢偏器法影響非常嚴(yán)重恒水，導(dǎo)致λ／4波片的測(cè)量出現(xiàn)錯(cuò)誤会放，表明本測(cè)試系統(tǒng)不適用旋轉(zhuǎn)檢偏器法。

表1 用不同方法測(cè)量630．2am附近g／2波片延遲結(jié)果

表2用不同方法測(cè)量532．4am附近g／4波片延遲結(jié)果

*表示由于Glan棱鏡及光路缺陷對(duì)旋轉(zhuǎn)檢偏器法影響非常嚴(yán)重寇窑，導(dǎo)致λ／4波片的測(cè)量出現(xiàn)錯(cuò)誤鸦概，表明本測(cè)試系統(tǒng)不適用旋轉(zhuǎn)檢偏器法。

在所采用的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)前提下甩骏，我們對(duì)光譜掃描法窗市、Soleil補(bǔ)償器法和兩種光強(qiáng)法進(jìn)行了對(duì)比測(cè)試及誤差分析。由于測(cè)試誤差來(lái)源于同一測(cè)試系統(tǒng)饮笛，所以便于對(duì)各種誤差和不同測(cè)量方法做系統(tǒng)的研究和比較咨察。分析得出：

(1) 光譜掃描法測(cè)波片的誤差源較少，在測(cè)量λ／2波片時(shí)福青，只需要從光譜曲線的極值就可以準(zhǔn)確測(cè)定延遲值摄狱，其測(cè)量誤差主要來(lái)源于單色儀精度，誤差<0.032%无午。由于不需要測(cè)量絕對(duì)光強(qiáng)值媒役，因而對(duì)光路有較大的寬容性，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)試宪迟。

(2) Soleil補(bǔ)償器法測(cè)量延遲與光譜法相似酣衷，只要求找到透過(guò)光強(qiáng)zui小值位置，因而同樣具有較好的寬容性次泽。其誤差主要由補(bǔ)償器自身的精度決定穿仪，本實(shí)驗(yàn)的補(bǔ)償器誤差<0．18%。對(duì)λ／2波片測(cè)量結(jié)果顯示Soleil補(bǔ)償器法與光譜掃描法測(cè)試結(jié)果在其精度范圍內(nèi)很好地相互印證意荤。但由于補(bǔ)償法需要由等偏離法提高精度啊片，因而不易實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)自動(dòng)化測(cè)試。

(3)各種光強(qiáng)法測(cè)量誤差與待測(cè)波片的延遲量有關(guān)玖像，雖然易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)試紫谷，但是由于需要讀取系統(tǒng)出射光的絕對(duì)光強(qiáng)值，因而對(duì)光路及光學(xué)元件等都有較高的要求，特別是Glan棱鏡及光路的缺陷對(duì)旋轉(zhuǎn)檢偏器法影響非常嚴(yán)重碴里。這些也正是光強(qiáng)法測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生較大差異的原因所在沈矿，因而在本文所述的實(shí)驗(yàn)條件下，光強(qiáng)法較難實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量咬腋。

了解更多詳情羹膳，請(qǐng)?jiān)L問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè)：

http://www.wjjzl.com/three-level-56.html

相關(guān)文獻(xiàn)：

1王勇輝,鄭春龍,趙振堂.基于斯托克斯橢偏測(cè)量系統(tǒng)的多點(diǎn)定標(biāo)法[J].中國(guó)激光,2012,39(11):163-167.

2侯俊峰,于佳,王東光,鄧元勇,張志勇,孫英姿.自校準(zhǔn)法測(cè)量波片相位延遲[J].中國(guó)激光,2012,39(4):173-179. 

3王喜寶,宋連科,朱化鳳,郝殿中,蔡君古.連續(xù)偏光干涉法測(cè)量波片寬波段延遲量變化[J].激光技術(shù),2012,36(2):258-261. 

4趙振堂,林天夏,黃佐華,何振江.利用消光式橢偏儀精確測(cè)量波片相位延遲量[J].激光雜志,2012,33(3):8-9.

5程一斌,侯俊峰,王東光.組合波片的橢圓率角測(cè)量方法[J].北京理工大學(xué)學(xué)報(bào),2019,39(7):750-755. 

6于德洪,李國(guó)華,蘇美開,宋連科.任意波長(zhǎng)云母波片位相延遲的測(cè)量[J].光電子．激光,1990,1(5):267-269.

7徐文東,李錫善.波片相位延遲量精密測(cè)量新方法[J].光學(xué)學(xué)報(bào),1994,14(10):1096-1101. 

8薛慶文,李國(guó)華.半陰法測(cè)量λ/4波片的相位延遲[J].光電子．激光,1998,9(2):150-151.

9AzzamR.M.A.,Bashara,N.M.ellipsometryandPolarizedLight[M].NewYork:North-Holland,1977,198-201.

10孫英姿,王東光,張志勇,鄧元勇,張洪起,玄偉佳.波片相位延遲的光強(qiáng)測(cè)量法研究[J].天文研究與技術(shù),2008,5(1):74-82. 

更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器根竿、光電調(diào)制器陵像、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等寇壳，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工醒颖、光通訊、生物醫(yī)療壳炎、科學(xué)研究泞歉、國(guó)防、量子光學(xué)匿辩、生物顯微腰耙、物聯(lián)傳感、激光制造等铲球；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝挺庞，培訓(xùn)，硬件開發(fā)稼病，軟件開發(fā)选侨，系統(tǒng)集成等服務(wù)。

您可以通過(guò)我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息然走，或直接來(lái)電咨詢4006-888-532援制。