光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)（五）-樣片的制備與穩(wěn)定性考核

正文

光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)（五）-樣片的制備與穩(wěn)定性考核

樣片的制備  

本文采用了半導(dǎo)體熱氧化工藝制備膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片用押，該樣片使用4寸硅晶圓片制備。由于硅晶圓片區(qū)域較大靶剑，為保證使用膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)橢偏儀結(jié)果準(zhǔn)確蜻拨，在研制的膜厚樣片上設(shè)計(jì)特殊圖形，標(biāo)記出膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量區(qū)域桩引，其為標(biāo)準(zhǔn)樣片中心直徑為20mm的圓形區(qū)域缎讼，如下圖1所示。

圖1 膜厚樣片測(cè)量區(qū)域示意圖

膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片制備的具體工藝流程如下圖2所示阐污。

圖2 樣片制備流程工藝圖

在膜厚樣片的制備過(guò)程中休涤，需要嚴(yán)格控制二氧化硅薄膜生長(zhǎng)工藝參數(shù)，以保證膜層的均勻性和穩(wěn)定性 笛辟，制備出的膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片如下圖3所示功氨。

圖3 制備的膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片

樣片的穩(wěn)定性考核實(shí)驗(yàn) 

膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片作為一種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，其測(cè)量區(qū)域均勻性和穩(wěn)定性一定要好手幢。在樣片制備完成后捷凄，我們需要使用3臺(tái)同型號(hào)的光譜型橢偏儀對(duì)其測(cè)量區(qū)域的均勻性和穩(wěn)定性進(jìn)行了考核，取這3臺(tái)儀器測(cè)量結(jié)果的平均值來(lái)作為考核結(jié)果围来。

穩(wěn)定性是通過(guò)使用光譜型橢偏儀對(duì)膜厚樣片測(cè)量區(qū)域的5個(gè)位置每隔1個(gè)月測(cè)量一次跺涤，5個(gè)位測(cè)量結(jié)果的平均值作為一次穩(wěn)定性測(cè)量數(shù)據(jù)，通過(guò)分析平均值的變化來(lái)確定膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片的穩(wěn)定性监透，在12個(gè)月內(nèi)對(duì)三種膜厚樣片分別進(jìn)行了12次的穩(wěn)定性考核桶错，樣片的穩(wěn)定性考核結(jié)果如下圖4所示。

圖4 膜厚樣片穩(wěn)定性考核結(jié)果

如果您對(duì)橢偏儀相關(guān)產(chǎn)品有興趣胀蛮，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè)：

http://www.wjjzl.com/three-level-56.html

相關(guān)文獻(xiàn)

1彭希鋒,陳爽,李海星,熊朝暉.基于激光位移傳感器的面角度測(cè)量技術(shù)研究[J].儀器儀表學(xué)報(bào),2017,38(11):2735-2743.

2浦昭邦,陶衛(wèi),張琢.角度測(cè)量的光學(xué)方法[J].光學(xué)技術(shù),2002,28(2):168-171. 

3劉文德,陳赤,于靖,徐英瑩,樊其明,張靜.相調(diào)制光譜橢偏儀校準(zhǔn)研究[J].計(jì)量技術(shù),2011(7):40-42. 

4楊坤,王向朝,步揚(yáng).橢偏儀的研究進(jìn)展[J].激光與光電子學(xué)進(jìn)展,2007,44(3):43-49. 

5徐鵬,劉濤,王林梓,李國(guó)光,熊偉,榮健.樣品校準(zhǔn)法在單波長(zhǎng)橢偏儀中的應(yīng)用[J].光學(xué)學(xué)報(bào),2013(4):84-91. 

6代貞強(qiáng),李大海,楊麗杰,鄂可偉,王琴,王雪敏.基于光線角度標(biāo)定的坐標(biāo)測(cè)量方法[J].光學(xué)與光電技術(shù),2015,0(3):29-33. 

7張繼濤,李巖,羅志勇.一種可溯源的光譜橢偏儀標(biāo)定方法[J].物理學(xué)報(bào),2010(1):186-191.

8韓志國(guó),李鎖印,趙琳,馮亞南,梁法國(guó).一種光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)方法[J].中國(guó)測(cè)試,2017,43(12):1-6.

9林啟敬,吳昊,張福政,王琛英,蔣莊德.Cu/Ti納米薄膜表面形貌的分形表征研究[J].計(jì)量學(xué)報(bào),2018,39(5):593-597. 

10朱緒丹,張榮君,鄭玉祥,王松有,陳良堯.橢圓偏振光譜測(cè)量技術(shù)及其在薄膜材料研究中的應(yīng)用[J].中國(guó)光學(xué),2019,12(6):1195-1234.

更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商院刁，產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器粪狼、光學(xué)測(cè)量設(shè)備退腥、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工再榄、光通訊狡刘、生物醫(yī)療、科學(xué)研究困鸥、國(guó)防嗅蔬、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感购城、激光制造等吕座；可為客戶(hù)提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)瘪板，硬件開(kāi)發(fā)吴趴，軟件開(kāi)發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)侮攀。

您可以通過(guò)我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息锣枝，或直接來(lái)電咨詢(xún)4006-888-532。