本文講述使用超連續(xù)譜激光器進(jìn)行材料光學(xué)表征，在用顯微鏡對(duì)器件進(jìn)行表征時(shí)负蠕，輻照光束通過(guò)樣品后蛙埂，被顯微鏡的檢測(cè)系統(tǒng)收集吸收或發(fā)射的光，生成光學(xué)圖像的簡(jiǎn)述遮糖。
超連續(xù)介質(zhì)激光作為顯微鏡器件光學(xué)表征的工具
摘要：本文講述使用超連續(xù)譜激光器進(jìn)行材料光學(xué)表征绣的，在用顯微鏡對(duì)器件進(jìn)行表征時(shí)，輻照光束通過(guò)樣品后，被顯微鏡的檢測(cè)系統(tǒng)收集吸收或發(fā)射的光屡江，生成光學(xué)圖像的簡(jiǎn)述芭概。
利用超連續(xù)介質(zhì)激光器進(jìn)行光學(xué)表征可以測(cè)量不同材料的基本參數(shù)，這是光學(xué)器件發(fā)展和正確性能的主要要求惩嘉。
他們利用了材料的特性罢洲，即每個(gè)分子都有自己的吸收和發(fā)射線，這取決于材料的電子結(jié)構(gòu)文黎。這意味著某個(gè)分子要被激發(fā)或發(fā)光(即經(jīng)歷躍遷)惹苗，需要具有特定能量和波長(zhǎng)的入射光。這個(gè)能量需要匹配原子內(nèi)部激發(fā)態(tài)和低能級(jí)之間的能量差臊诊。
器件光學(xué)特性的顯微技術(shù)一些允許器件光學(xué)特性的技術(shù)涉及到顯微鏡的使用鸽粉。顯微鏡有幾種類型，可以根據(jù)光線到達(dá)樣品的方式進(jìn)行分類抓艳。因此触机，一些顯微鏡將使用寬視場(chǎng)輻射操作，而其他顯微鏡將通過(guò)定向光束掃描樣品表面(即光片顯微鏡)玷或。此外儡首，其他配置包括使用掃描探針顯微鏡來(lái)分析感興趣的表面(即原子力顯微鏡或掃描隧道顯微鏡)。在用顯微鏡對(duì)器件進(jìn)行表征時(shí)偏友，輻照光束通過(guò)樣品后蔬胯，被顯微鏡的檢測(cè)系統(tǒng)收集吸收或發(fā)射的光，生成光學(xué)圖像位他。
一個(gè)有趣的掃描探針配置的新興領(lǐng)域是NSOM或近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡技術(shù)氛濒，它也被稱為SNOM或掃描近光學(xué)顯微鏡。它包括一種試圖克服阿貝衍射極限的方法鹅髓，通過(guò)使用納米級(jí)纖維探針將光限制在一個(gè)小區(qū)域內(nèi)舞竿，允許在亞波長(zhǎng)尺度上進(jìn)行地形和光學(xué)成像。由于這個(gè)原因窿冯，NSOM已被證明是一種有用的技術(shù)骗奖，不僅用于生物學(xué)目的，而且用于表征半導(dǎo)體等不同材料醒串。在這種類型的顯微鏡中执桌，光通過(guò)探針傳遞或收集，該探針可以具有懸臂結(jié)構(gòu)或纖維探針的結(jié)構(gòu)芜赌。此外仰挣，探頭可以在光圈或無(wú)光圈模式下工作。在無(wú)孔徑模式下缠沈，AFM(原子力顯微鏡)探針被涂上一層金屬椎木，以增強(qiáng)靠近其尖端的樣品部分的電磁場(chǎng)违柏，并與放置在遠(yuǎn)場(chǎng)的外部光源結(jié)合使用以進(jìn)行照明(圖1)。
圖1 ：無(wú)光圈NSOM結(jié)構(gòu)示意圖香椎。外部光源照亮靠近懸臂頂端的部分樣品。散射回來(lái)的光被物鏡收集起來(lái)禽篱。
另一方面畜伐，在孔徑模式下，光通過(guò)掃描探針傳遞或收集躺率。有不同類型的利用孔徑探頭的NSOM技術(shù)玛界。簡(jiǎn)單的方法包括:反射NSOM(光從樣品上方通過(guò)AFM探針傳遞，并收集反射光)(圖2a)悼吱，收集NSOM(光束從下方聚焦在樣品上慎框，探針靠近表面放置)，使透射光通過(guò)它到達(dá)探測(cè)器)(圖2b)或透射NSOM(其中樣品通過(guò)探頭從上方照射后添，并收集通過(guò)它透射的光)(圖2c)笨枯。
圖2：簡(jiǎn)單孔徑NSOM結(jié)構(gòu)示意圖。(一)反映NSOM遇西。(b)收集NSOM馅精。(c)傳輸NSOM。
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