橢偏成像技術(shù)（六）橢偏成像技術(shù)在材料學(xué)和半導(dǎo)體的應(yīng)用

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橢偏成像技術(shù)（六）橢偏成像技術(shù)在材料學(xué)和半導(dǎo)體的應(yīng)用

隨著計(jì)算機(jī)的發(fā)展，橢偏成像技術(shù)由于自身的 優(yōu)勢(shì)與特點(diǎn)象颖，結(jié)合其他測(cè)量方法佩厚，能獲得更為豐富的信息，在材料科學(xué)说订、生物學(xué)抄瓦、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

在材料學(xué)方面陶冷，橢偏成像主要應(yīng)用于對(duì)納米薄膜的研究钙姊。例如，成像橢偏儀的橫向分辨率達(dá)到1μm埂伦，光學(xué)特性映射到石墨烯薄片上之后煞额，橢偏成像技術(shù)就可以用來從任何襯底上確定石墨烯薄膜的形狀和層數(shù)，從中提取其光學(xué)性質(zhì)從而分析不同襯底對(duì)石墨烯性質(zhì)的影響。下圖為成像橢偏儀獲得的石墨烯薄片灰度圖和光學(xué)顯微鏡獲得的石墨烯薄片的對(duì)比立镶。

成像橢偏儀獲得的石墨烯薄片灰度圖和光學(xué)顯微鏡獲得的石墨烯薄片的對(duì)比。

（a）不同層數(shù)的石墨烯片的光學(xué)顯微照 片类早，數(shù)字代表石墨烯層數(shù)媚媒；

（b）石墨烯片在二氧化硅/硅上的成像橢偏灰度圖；

（c）（d）以更高的分辨率顯示圖（b）中方框 區(qū)域的橢偏Ψ和Δ圖

對(duì)比上圖（a）和（b）-（d）可以看出涩僻，成像橢偏適用于區(qū)分單層和雙層石墨烯缭召。在此之后，成像橢偏技術(shù)實(shí)現(xiàn)從單波長測(cè)量到光譜測(cè)量的突破逆日，為測(cè)定由飛秒激光誘導(dǎo)的離子遷移刻寫的通信波導(dǎo)的折射率對(duì)比度和色散提供了有效方法嵌巷，并且能夠提供有效的光譜分辨率，從而獲得波導(dǎo)的色散指數(shù)室抽。除此之外搪哪，橢偏成像技術(shù)可以用于對(duì)導(dǎo)電聚合物膜層的研究，通過橢偏成像可以獲得聚合物層的空間分布信息和不同厚度層的顯著形態(tài)差異坪圾。 此外晓折，橢偏成像還應(yīng)用在原位測(cè)試方面。例如對(duì)界面氧化層變化的分析可以顯示氧化層厚度變化兽泄，精確到納米級(jí) 漓概。對(duì)于水媒質(zhì)中油滴到達(dá)石英固體表面上時(shí)形貌的變化，橢偏成像能夠準(zhǔn)確地測(cè)定在液滴和界面之間發(fā)生薄膜排水時(shí)液滴輪廓的變化病梢。該技術(shù)對(duì)厚膜和薄膜的測(cè)量都很敏感胃珍，無需掃描表面，可實(shí)時(shí)生成薄膜輪廓蜓陌。到目前為止觅彰，橢偏成像技術(shù)在納米材料檢測(cè)方面已經(jīng)取得長足的進(jìn)步， 橢偏光譜成像已經(jīng)可以對(duì)復(fù)雜二維分布的納米層結(jié)構(gòu)薄膜樣品進(jìn)行快速光譜成像定量測(cè)量护奈，給具有復(fù)雜橫向結(jié)構(gòu)的大面積多層納米薄膜樣品的表征提供了方法缔莲，同時(shí)滿足了高分辨率、快速準(zhǔn)確霉旗、結(jié)果直觀痴奏、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的要求。

在半導(dǎo)體方面厌秒，橢偏成像技術(shù)可以有效檢測(cè)半導(dǎo)體材料的形態(tài)读拆、均勻性和光學(xué)性能。例如鸵闪，檢測(cè)噻吩-亞苯基低聚物晶體等在微電子器件和柔性電子方面有巨大潛力的有機(jī)半導(dǎo)體微晶檐晕，快速觀察和區(qū)分單層和多層微晶，獲得雙軸半導(dǎo)體材料的光學(xué)特性。2020年辟灰，韓國三星設(shè)計(jì)了一種基于橢偏成像的半導(dǎo)體器件的檢查方法个榕，用于檢測(cè)半導(dǎo)體材料的晶態(tài)、形狀芥喇、化學(xué)結(jié)構(gòu)和電導(dǎo)率等性質(zhì)西采。該技術(shù)還可以用于對(duì)激光二極管（LD）的檢測(cè)，可以檢測(cè)LD發(fā)射表面上的抗反射涂層的光學(xué)性質(zhì)继控，從而獲得LD的發(fā)射波長械馆、線寬、壽命武通、穩(wěn)定性霹崎。

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相關(guān)文獻(xiàn)：

1薛利軍, 李自田, 李長樂, 等 . 光譜成像儀 ccd 焦平 面組件非均勻性校正技術(shù)研究[J]. 光子學(xué)報(bào), 2006, 35(5): 693-696.

2游海洋, 賈建虎, 陳劍科, 等 . 面陣 CCD 探測(cè)的全自 動(dòng)橢圓偏振光譜系統(tǒng)研究[J]. 紅外與毫米波學(xué)報(bào), 2003, 22(1): 45-50.

3陳修國, 袁奎, 杜衛(wèi)超, 等 . 基于 Mueller 矩陣成像橢 偏儀的納米結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)大面積測(cè)量[J]. 物理學(xué)報(bào), 2016, 65(7): 070703.

4王戰(zhàn)會(huì), 靳剛 . 光學(xué)橢偏成像技術(shù)在生物分子研究中 的應(yīng)用[J]. 生物工程學(xué)報(bào), 2000, 16(4): 429-432. 

5包學(xué)誠 . 橢偏儀的結(jié)構(gòu)原理與發(fā)展[J]. 現(xiàn)代科學(xué)儀 器, 1999(3): 58-61.

6張恒 . 基于光度法及混合法的自動(dòng)橢偏儀研究[D]. 廣州: 華南師范大學(xué), 2005: 21-30

7崔高增 . 深紫外成像光譜橢圓偏振儀校準(zhǔn)方法研究 [D]. 北京：北京工業(yè)大學(xué), 2014: 12-16.

8吳啟宏 . 與消光式兼容的光度橢偏儀的原理[J]. 光學(xué) 學(xué)報(bào), 1987, 7(7): 618-621.

9張?jiān)?連潔;魏銘洋;姜清芬;王宸琳;王月明;許鎮(zhèn);.橢偏成像技術(shù)研究進(jìn)展[J].激光與光電子學(xué)進(jìn)展,2022(10).

10代恒 . 立式成像橢偏儀研制及應(yīng)用[D]. 武漢: 華中科 技大學(xué), 2018: 7-10.

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