寬可調(diào)諧1550納米MEMSVCSEL的10gb/s直接調(diào)制(1)-簡介自1977年Iga首次提出垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）以來缺谴，為了使其成為光通信中具有競爭力的高速光源但惶，已經(jīng)進(jìn)行了大量的發(fā)展。發(fā)射波長在850nm左右的GaAs VCSEL由于具有高調(diào)制帶寬和光輸出功率湿蛔，已經(jīng)成為部署在多模光纖局域網(wǎng)中的主導(dǎo)光源膀曾。報(bào)告的z高數(shù)據(jù)速率可達(dá)71Gb/s，適用于鏈路長度<100m的數(shù)據(jù)中心應(yīng)用阳啥。另一方面添谊，在1300-1600nm波長范圍內(nèi)發(fā)射的長波長VCSEL在電信領(lǐng)域也取得了顯著的成熟水平。對(duì)于快速發(fā)展的應(yīng)用察迟，如計(jì)算機(jī)通信斩狱、接入網(wǎng)、無線基站之間的互連和通信卷拘，它們是非常有吸引力的光源喊废。與傳 ...
1550nm中心波長周圍的120nm波長范圍內(nèi)的反射率為>99.5%。每層的光學(xué)厚度為λ0/4（中心波長λ0=1550nm）栗弟。由于DBR提供了寬阻帶污筷，因此強(qiáng)烈鼓勵(lì)選擇介電材料。值得一提的是，MEMS的熱膨脹對(duì)反射率阻帶的影響可以忽略不計(jì)瓣蛀。圖2 低溫PECVD沉積表面微機(jī)械MEMSDBR的工藝流程制造步驟在圖2中簡要說明陆蟆。首先沉積一層λ0/4厚、折射率n=1.7的介質(zhì)增透涂層（ARC）惋增。對(duì)于沒有電弧的MEMS VCSEL叠殷，隨著氣隙的增加，反射相移發(fā)生得更快诈皿，因此林束，與帶有電弧的MEMS VCSEL相比，F(xiàn)SR更小稽亏。由于FSR是連續(xù)調(diào)諧的zui終限制因素壶冒，因此，對(duì)于需要非常寬的調(diào)諧范圍的應(yīng)用來 ...
續(xù)單模調(diào)諧截歉，中心波長為1554nm胖腾。在1584nm的發(fā)射波長處，激光模式與下一個(gè)高階縱向模式競爭瘪松，當(dāng)MEMS電流高于27mA時(shí)咸作，縱向模式zui終在1524nm處開始激光。排放峰值隨加熱功率的變化如圖4(b)所示宵睦。依賴于Lair的發(fā)射波長λ與加熱功率P熱成正比记罚，也與調(diào)諧電流Imems的平方成正比：其中，Rmems=40Ω為MEMS電極的歐姆電阻状飞。由于工藝相關(guān)問題毫胜，ARC部分蝕刻。因此诬辈，激光器無法調(diào)諧到整個(gè)FSR，該MEMS VCSEL的FSR為94nm荐吉。值得一提的是焙糟，F(xiàn)SR可以通過進(jìn)一步減小犧牲層的厚度來提高，從而使半VCSEL和MEMS DBR之間的初始?xì)庀蹲冃⊙馈９廨敵龉β?P)和電壓(V)隨 ...
穿撮，調(diào)諧范圍的中心波長與邊緣波長相比具有更低的功率懲罰（參見圖11中1527和1582nm的BER曲線），這符合器件的小信號(hào)調(diào)制響應(yīng)趨勢（中心波長具有更大的3dB帶寬S21）痪欲。圖11 BTB 10Gb/s OOK直接調(diào)制的誤碼率性能與接收光功率的函數(shù)關(guān)系為了獲得1550nm電信波長附近的可調(diào)諧發(fā)射悦穿，通過表面微加工將基于SiNx/SiOy的寬帶反射率MEMS DBR集成到BCB封裝的高速半VCSEL中。本文介紹了PECVD生長MEMS的制備方法业踢。通過電熱驅(qū)動(dòng)MEMS電極栗柒，實(shí)現(xiàn)了60nm的寬調(diào)諧，中心波長為1554nm知举。在1550nm處瞬沦，MEMS VCSEL的光纖耦合Max輸出功率為1.42mW太伊。半 ...
3.4%。中心波長為λ = 7.85 μm逛钻，特征溫度為T0 = 145 K僚焦。閾值電流對(duì)溫度的靈敏度越小從QCL-A到QCL-C器件的T0值的增加可以部分地證明，由于較長波長激光器中較高激光能級(jí)的能量較低曙痘，更小比例的熱電子損失到傳導(dǎo)帶連續(xù)體中芳悲，從而提高了注入效率。圖4QCL-D器件的發(fā)射特性如圖4所示边坤。對(duì)于寬度為12 μm名扛，長度為4 mm的器件，在λ = 8.9 μm的中心波長處惩嘉，激光器的總輸出功率為>.8 W（無涂層的兩個(gè)面輸出之和）罢洲。在15?C連續(xù)工作時(shí)，典型的功率轉(zhuǎn)換效率約為η = 4%文黎，特征溫度為T0 = 149 K惹苗，與以前器件在更長波長的情況下觀察到的T0增加一致。圖4和圖2中 ...
m帶寬耸峭。激光中心波長為637 nm（紅色）和748 nm（近紅外）桩蓉。（d）由CELESTA光引擎（Lumencor, Beaverton, OR）產(chǎn)生的光通過直徑為1.5毫米（NA = 0.39）的多模光纖傳輸后的角度分布。激光中心波長為405 nm（紫色）劳闹、477 nm（青色）院究、545 nm（綠色）和639 nm（紅色）。（e）由CELESTA光引擎（Lumencor, Beaverton, OR）產(chǎn)生的光通過方形0.4毫米×0.4毫米（NA = 0.22）的多模光纖傳輸后的角度分布本涕。激光中心波長為405 nm（紫色）业汰、477 nm（青色）、545 nm（綠色）和639 nm（紅色）菩颖。（f） ...
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