路具有相同的光程長(zhǎng)度道宅。若用激光作為光源,相對(duì)于普通光源的斐索干涉儀而言胸蛛,它不僅可以測(cè)量整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)污茵,而且可以提高測(cè)量效率,但需要用到較多的光學(xué)元件葬项,同時(shí)要求分光鏡的兩個(gè)表面以及參考鏡都必須非常平整泞当,此外,準(zhǔn)直激光束所用的元件和將光束投影到攝像機(jī)所用的元件玷室,必須具有相同的精度零蓉。(3)馬赫澤德干涉儀3.5馬赫澤德干涉儀優(yōu)點(diǎn):不需要試光路和參考光路的光程差必須相同笤受。其是單通道干涉儀穷缤,兩束光在測(cè)試光路后合成為一束,然后再通過被測(cè)系統(tǒng)箩兽。相對(duì)于雙通道干涉儀津肛,其優(yōu)點(diǎn)是由孔徑引起的衍射光只會(huì)通過一次,因此汗贫,很容易通過處理衍射孔徑來消除衍射效應(yīng)對(duì)系統(tǒng)的影響身坐。缺點(diǎn):不適用于微透鏡等衍射很重要的測(cè)量中秸脱。如果您對(duì)干涉 ...
化或振動(dòng)而使光程波動(dòng),zui終使測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生誤差部蛇。如果您對(duì)位移測(cè)量有興趣摊唇,請(qǐng)?jiān)L問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè):http://www.wjjzl.com/three-level-55.html更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電關(guān)于昊量光電:上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器涯鲁、光電調(diào)制器巷查、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等抹腿,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工岛请、光通訊、生物醫(yī)療警绩、科學(xué)研究崇败、國(guó)防、量子光學(xué)肩祥、生物顯微后室、物聯(lián)傳感、激光制造等搭幻;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝咧擂,培訓(xùn),硬件開發(fā)檀蹋,軟件開發(fā)松申,系統(tǒng)集成等服務(wù)。您可以通過我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解 ...
振光束之間的光程差俯逾,并在干涉相位中引入線性變化贸桶。因此,棱鏡相當(dāng)于移動(dòng)靶標(biāo)桌肴。圖3.6直線度干涉儀了解更多詳情皇筛,請(qǐng)?jiān)L問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè)http://www.wjjzl.com/three-level-45.html更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電關(guān)于昊量光電:上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器坠七、光電調(diào)制器水醋、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等彪置,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工拄踪、光通訊、生物醫(yī)療拳魁、科學(xué)研究惶桐、國(guó)防、量子光學(xué)、生物顯微姚糊、物聯(lián)傳感贿衍、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝救恨,培訓(xùn)贸辈,硬件開發(fā),軟件開發(fā)肠槽,系統(tǒng)集成等服務(wù)裙椭。您可以通過我們昊量光電的官方網(wǎng)站www. ...
的透射光束的光程差為:由此引起的相位差為:若第1束透射光的初相位為零署浩,因此各光束的相位依次為透射光的振動(dòng)可以用復(fù)數(shù)進(jìn)行表示:我們計(jì)算其和振動(dòng)揉燃,其中利用了等比求和公式:其中因此可得:求合振動(dòng)強(qiáng)度時(shí),針對(duì)分式項(xiàng)需要用到他與共軛復(fù)數(shù)的乘積:因此合振幅的平方為:其中 稱為艾里函數(shù)筋栋,稱為精細(xì)度炊汤,體現(xiàn)出干涉條紋的精細(xì)程度。當(dāng)P為固定值時(shí)弊攘,A2與相關(guān)抢腐。當(dāng)時(shí)為zui大,時(shí)為zui小襟交。因此越大時(shí)迈倍,可P見度越顯著。圖4 不同精細(xì)度的艾里函數(shù)圖目前捣域,激光干涉儀技術(shù)正處于不斷創(chuàng)新和發(fā)展的階段啼染。隨著激光技術(shù)、光學(xué)器件和信號(hào)處理技術(shù)的不斷進(jìn)步焕梅,激光干涉儀在精密測(cè)量迹鹅、光學(xué)成像和光學(xué)通信等領(lǐng)域展現(xiàn)出更高的性能和應(yīng)用潛力。激光 ...
需考慮溶液的光程贞言,原則上越小越好斜棚,這樣可以減小光的衰減,更易得到沉積薄膜的信息该窗。因此需要根據(jù)系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計(jì)弟蚀。4.4光學(xué)模型的建立與數(shù)據(jù)的提取在位橢偏儀測(cè)試的另外一個(gè)挑戰(zhàn)在于數(shù)據(jù)的分析。通過橢偏光譜的在位監(jiān)測(cè)可以獲得(ψ酗失,Δ)值义钉,利用這些光譜,需要進(jìn)行建模從而獲取其光學(xué)參數(shù)级零。表1-1總結(jié)了在位橢偏儀數(shù)據(jù)分析常用的分析方法断医。線性回歸分析(LRA)全局誤差zui小化(GEM)虛擬襯底近似(VSA)解析條件介電函數(shù)是已知介電函數(shù)與厚度無關(guān)薄膜和襯底吸光難易程度容易困難中等介電函數(shù)必要非必要必要透明材料分析可以可以不可以梯度層分析困難困難可行實(shí)時(shí)控制可以不可以可以表1-1在位橢偏儀數(shù)據(jù)分析方法表1-1所示 ...
面與測(cè)量面間光程差引起的初位相.為了從干涉條紋函數(shù)中獲得位相分布函數(shù)φ(x,y),采用了相移法。相移時(shí)奏纪,條紋位相隨著光程或波長(zhǎng)變化而發(fā)生移動(dòng)鉴嗤。當(dāng)給定附加相移φi,干涉條紋函數(shù)I(x,y)為:理論上序调,為了計(jì)算位相分布函數(shù)φ(x,y),要求i>3醉锅。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)的相移法,位相步長(zhǎng)為2Π/j,j≥3,是個(gè)整數(shù)发绢,如φi-φi-1,=2Π/j硬耍。為了獲得精確的位相分布,要求高的位相步長(zhǎng)精度边酒。多種位相步長(zhǎng)的相移算法已經(jīng)純?cè)诰瘢缥宀胶推卟剿惴ā?duì)于五步算法墩朦,位相分布函數(shù)φ(x,y)可按如下計(jì)算:位相的步長(zhǎng)可通過改變光程或波長(zhǎng)來實(shí)現(xiàn)坯认。壓電傳感器(PZT)能改變光程,但是在大孔徑上很難得到空間均勻的位相步長(zhǎng)氓涣。相移 ...
同的照明度牛哺,光程差為mλ/2時(shí)是亮條紋,光程差是(m+1/2)λ時(shí)為暗條紋劳吠,此時(shí)m是一個(gè)整數(shù)引润。當(dāng)一個(gè)平面鏡傾斜時(shí)這種情況也將改變。此時(shí)痒玩,直條紋出現(xiàn)在觀察區(qū)域淳附,條紋的數(shù)目和方向嚴(yán)格依賴于傾斜度。當(dāng)被測(cè)對(duì)象不是完全平面時(shí)蠢古,條紋彎曲而且不在空間均勻分布燃观。這樣的條紋圖像可以用于表面品質(zhì)的測(cè)試,也可以用于地形表面的分析.分束鏡的二次反射可采用鍍制減反射膜來抑制便瑟,很小的雜散反射也可導(dǎo)致不利的干擾缆毁,對(duì)zui終干涉造成影響。另一種消除二次反射的有效方法是利用楔形分束鏡到涂。這樣使得二次反射的方向與主射方向不同脊框,導(dǎo)致聚焦透鏡的焦平面上的二次反射點(diǎn)能被一個(gè)合適的孔擋住,這樣就避免了反射光對(duì)zui終的干涉光束的影響践啄。分 ...
同步傳播浇雹,其光程差是波長(zhǎng)的整數(shù)倍。一部分入射光的偏轉(zhuǎn)角度是2θ屿讽,會(huì)在衍射圖案中產(chǎn)生反射點(diǎn)昭灵。通過已知波長(zhǎng)X射線測(cè)量出的θ角吠裆,得到晶面間距d,從而可分解析出材料的內(nèi)部原子烂完、或分子結(jié)構(gòu)试疙。由衍射峰的強(qiáng)度可得出晶體結(jié)晶度,再利用謝樂公式(Scherrer)即能計(jì)算出晶粒平均尺寸抠蚣。謝樂公式(Scherrer):式中K是Scherrer常數(shù)祝旷,如果β是衍射峰的半高寬,那么K=0.89嘶窄,如果β是衍射峰的積分高寬怀跛,則K=1;D為晶粒垂直于晶面方向的平均厚度(nm)柄冲;θ為布拉格衍射角吻谋;λ為X射線波長(zhǎng),λ=0.154056nm现横。圖2-5X射線的晶體衍射圖2.6實(shí)驗(yàn)主要化學(xué)試劑及設(shè)備本小節(jié)主要對(duì)涉及到的化學(xué)試劑進(jìn)行陳述 ...
溶液中經(jīng)過的光程是25px滨溉、50px、75px长赞、100px晦攒、125px和150px,則要向?qū)?yīng)培養(yǎng)皿中加入18.9cm3得哆、33.5cm3脯颜、48.0cm3、62.5cm3贩据、77.1cm3和91.6cm3的溶液栋操。在培養(yǎng)皿中先后加入上述體積的溶液,進(jìn)行入射角度為70°饱亮,波長(zhǎng)范圍為300nm-800nm的橢偏測(cè)量矾芙,測(cè)試得到的橢偏參數(shù)如圖3-1所示。圖3-1不同溶液厚度的橢偏儀測(cè)試(a)Psi近上;(b)Delta從圖3-1(a)可知剔宪,隨著溶液的加入,溶液中的光程從0變化到150px壹无。其中光程為25px葱绒、75px時(shí)測(cè)得的結(jié)果比0時(shí)要小,且曲線趨勢(shì)也不同斗锭;光程為50px地淀、100px、125px岖是、150px時(shí)測(cè) ...
光在溶液中的光程帮毁,再結(jié)合后面電極的放置实苞,設(shè)計(jì)了一個(gè)半徑為15mm,池體壁厚為2mm的半圓體烈疚。在材料選取上黔牵,考慮到通常使用的橢偏儀入射波長(zhǎng)是300nm到800nm波段,且要減小池體壁對(duì)光的損耗胞得,所以觀察窗口選用石英玻璃制作。兩邊長(zhǎng)方體的尺寸設(shè)計(jì)如圖3-2(b)所示屹电,考慮的長(zhǎng)度以及溶液的體積阶剑,長(zhǎng)方體的長(zhǎng)寬高分別為60mm、60mm及80mm危号。由于兩邊的池體設(shè)計(jì)主要起到增加溶液體積的作用牧愁,所以其制作材質(zhì)沒有特別的要求,這里選用5mm厚的亞克力板外莲。圖3-2池體模型圖及尺寸設(shè)計(jì)圖對(duì)于工作電極載體的設(shè)計(jì)如圖3-2(d)所示猪半,考慮到觀察窗口的大小及電極的大小,其尺寸為20mm×55mm×5mm偷线,材質(zhì)選用5m ...
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