解釋
中文：接觸式光刻；英文：contact printing / contact lithography的原理泽本；中文：接觸式光刻淘太；英文：contact printing / contact lithography的定義；中文：接觸式光刻规丽；英文：contact printing / contact lithography是什么蒲牧。
將擬制備圖形的掩模板直接和涂有抗蝕劑或光刻膠的基底（如硅片）進(jìn)行接觸，利用光束進(jìn)行曝光赌莺，將掩模上的圖形復(fù)制到抗蝕劑或光刻膠中的光刻工藝冰抢。
